DVIA-U模塊化主動隔振平臺

DVIA-U系列
主動隔振底座和桌面平臺

經(jīng)濟有效
DIVA-UB，主動隔振基座平臺設(shè)計用于以有效的方式將掃描電子顯微鏡與地面振動隔離。

符合人體工程學(xué)的辦公桌服務(wù)各種應(yīng)用

DIVA-UD主動隔振臺平臺設(shè)計用于將超精密儀器與低頻振動隔離。 人體工程學(xué)設(shè)計使用戶可以舒適地執(zhí)行要求的應(yīng)用。 另外，桌子支架底部安裝腳輪和調(diào)平腳，使用戶可以將桌子放在所需的位置。

沒有空氣

DVIA-U系列不需要氣源來操作系統(tǒng)。 隔離器單元中的強力金屬彈簧不僅支撐重型有效載荷，還為高頻振動提供出色的被動隔振。

具有高分辨率的納米成像

如上圖所示，如果用戶由于振動而遇到模糊的圖像，則需要使用帶有DVIA-UB的SEM來獲得高分辨率的圖像。

克服了被動隔振系統(tǒng)的局限性

由于主動隔振系統(tǒng)不具備固有頻率，因此主動隔振系統(tǒng)可以降低1-10 Hz的低頻振動，其中低頻振動會嚴(yán)重干擾納米級成像。 另一方面，無源隔離系統(tǒng)由于其固有頻率而放大低頻振動。

控制亞赫茲振動
DVIA-U非常有效地將超精密儀器與1-10 Hz的環(huán)境振動隔離，振動敏感的精密儀器趨向于不穩(wěn)定和破壞性，無法產(chǎn)生結(jié)果。 DVIA-U在0.6 Hz時開始隔離，在10 Hz時提供±99％的振動隔離。

反饋和前饋算法

DVIA-MB使用反饋控制系統(tǒng)連續(xù)檢測干擾隔離有效負(fù)載基座的振動，并即時作出反應(yīng)，以實時最小化振動。 DVIA-MB采用前饋系統(tǒng)，以預(yù)定義的方式濾除地面振動。

控制所有六個自由度的振動

安裝在主動隔振系統(tǒng)中的慣性傳感器和VCM執(zhí)行器通過三個平移運動（X，Y和Z）以及三個旋轉(zhuǎn)運動（俯仰，滾轉(zhuǎn)和偏航）來檢測和控制振動。

每個安裝地點都有不同的振動級別，表明每個安裝地點都需要調(diào)整。 因此，我們提供現(xiàn)場調(diào)試，以有效地利用反饋和前饋控制系統(tǒng)，這是控制1-10 Hz范圍振動的關(guān)鍵因素。 沒有調(diào)整，主動隔離系統(tǒng)不能提供的主動隔離性能。

應(yīng)用領(lǐng)域

掃描電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、特高壓掃描隧道顯微鏡、干涉、其他高精度儀器