HSR-8000共聚焦顯微鏡可對待測物的表面進行非接觸式三維形貌掃描，獲取2D/3D表面形貌、分析微觀輪廓幾何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等參數(shù)指標(biāo)，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT/四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品性能：
1、高精度、高重復(fù)性
采用針孔，共聚焦光學(xué)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計、優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)保證測量精度高；
2、一體化操作的測量分析軟件
1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，實現(xiàn)了快速批量測量的功能;
2） 可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程;
3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程;
4）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能;
6） 可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達300余種2D、3D參數(shù)。
技術(shù)參數(shù)：
測量原理 | 針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |
顯微物鏡 | 10x,20x,50x,100x | |
視場范圍 | 120x120?~1.2x1.2 mm | |
掃描幀率 | ≥4HZ | |
高度測量 | 重復(fù)性*1 | 20nm |
精度*1 | ±(0.2+L/100)? | |
顯示分辨率 | 0.5nm | |
寬度測量 | 重復(fù)性*2 | 40nm |
精度*2 | 2% | |
顯示分辨率 | Inm | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 200×200mm |
移動范圍 | 100×100mm | |
負載 | 10kg | |
控制方式 | 電動 | |
Z0軸掃指 | 范圍 | 10mm |
Z0軸掃描步長 | 20nm-150nm | |
Z向移動范圍 | 100mm | |
物鏡塔臺 | 5孔電動 | |
光源 | 白光LED | |
外形尺寸 | 540*379*594mm | |
總重量 | 45kg | |
工作電源 | AC 220V/50HZ | |
工作環(huán)境 | 溫度10°C~35°C,溫度梯度＜1°C/15分鐘，濕度30-80%振動＜0.002g,低于15Hz | |
