指標:
(1)流量范圍:0.001mL/min-9.999mL/min,設定步長:0.001mL/min;
(2)流量準確度:≤± 0.3%(1.000mL/min,8.5MPa, 水,室溫);
(3)流量精度:PSD≤ 1‰(1.000mL/min,8.5MPa, 水,室溫);
(4)工作壓力:40MPa(0.001mL/min-4.999mL/min);
20MPa(5.001mL/min-9.999mL/min);
(5)壓力準確性: 顯示壓力誤差±3%或0.5MPa以內
(6)壓力脈動: ≤1.0%