等離子體納米改良升級系統(tǒng)

是一款為工業(yè)級客戶和研發(fā)型客戶使用需求設計的寬泛使用等離子表面處理設備，適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應用，設備可在嚴苛環(huán)境下穩(wěn)定運行，獲得高度均一的使用效果。

等離子體納米改良升級系統(tǒng)產(chǎn)品特點：

1、13.56MHz射頻電源與自動匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復性

靈活的電極結構設置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案，確保大批量處理的均勻性

PLC與工控機提供穩(wěn)定的過程控制，設備運行的實時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)

系統(tǒng)穩(wěn)定可靠，易于保養(yǎng)與維護

2、標準腔體電極為平行板電極結構，通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果

3、至多支持擴展至8片電極

4、每對電極間為獨立空間  

5、批處理電極改變了標準的平行板電極結構

6、通過優(yōu)化的電場和進氣設計實現(xiàn)對magazi和boat等載具內(nèi)產(chǎn)品的均勻處理。

技術參數(shù)：

應用領域：

1、表面清潔與活化

2、表面有機污染物與金屬氧化物的去除

3、增強表面膠體流動性，消除涂層分層

4、提升表面能，實現(xiàn)難粘材料的有效結合

5、表面粗化及微刻蝕

6、納米級表面粗化，應力釋放

7、光刻膠、殘膠的去除

8、對多種材料的選擇性刻蝕