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原子層沉積表面改造提升處理系統(tǒng)

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公司名稱武漢賽斯特精密儀器有限公司
品牌其他品牌
型號
所在地武漢市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間2021/8/30 16:49:38
訪問次數(shù)707

產(chǎn)品標簽:

ALD原子層沉積系統(tǒng)半導體檢測儀器半導體儀器設備全套?

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公司介紹主營產(chǎn)品

武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業(yè)研發(fā)，以力學試驗機儀器為主，同時銷售各種、中低端分析儀器?，F(xiàn)有員工60多人，公司成功開發(fā)了PCI放大采集卡和中文版試驗軟件，并采用全數(shù)字化，操作簡捷，*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標準、國家標準、行業(yè)標準的要求，公司亦通過了ISO9001質(zhì)量體系認證和國家計量體系認證，榮獲了“武漢市第九界消費者滿意單位”的稱號。

產(chǎn)品廣泛應用于電子、高校、研究機構(gòu)、環(huán)保機構(gòu)、航天、石油化工、紡織制造、第三方檢測機構(gòu)、研究院、新能源、集成電路、芯片、封裝測試、半導體行業(yè)、顯示器領域、光電材料、鋰電池、機械生產(chǎn)等領域。并與武漢理工大學、華中科技大學等建立了長期合作，每年投入大量研究經(jīng)費，招攬各方技術人才加盟突破國內(nèi)技術壁壘，不斷攻克新的技術難題，另外公司還積極拓展海外業(yè)務，產(chǎn)品遠銷越南，印度，埃及等國家和地區(qū)。

本著“專業(yè)品質(zhì)，專業(yè)服務”為宗旨，以“科技、品質(zhì)、競爭、創(chuàng)新”為理念，通過不斷汲取新的技術，新的理念，繼續(xù)開發(fā)研制新產(chǎn)品，并為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的售前，售中，售后服務。熱烈歡迎廣大新老朋友業(yè)函，來電，蒞臨我公司參觀指導！

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加工定制	是

原子層沉積表面改造提升處理系統(tǒng) 存儲電容器絕緣層-銅連線間的高縱橫比擴散勢壘區(qū)
有機發(fā)光二極管和聚合物的無針孔鈍化層
鈍化晶體硅太陽能電池

原子層沉積表面改造提升處理系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

原子層沉積表面改造提升處理系統(tǒng)

現(xiàn)場升級到可使用等離子體

從小晶片到200mm大晶片

適用于學術、產(chǎn)業(yè)、研發(fā)的熱和/或等離子體化學產(chǎn)品，可用于：

氧化物： HfO2, Al2O3, TiO2, SiO2, ZnO, Ta2O5
氮化物：TiN, Si3N4
金屬： Ru, Pt

ALD應用舉例：

納米電子學

高k柵極氧化物

存儲電容器絕緣層-銅連線間的高縱橫比擴散勢壘區(qū)

有機發(fā)光二極管和聚合物的無針孔鈍化層

鈍化晶體硅太陽能電池

應用于微流體和MEMS的高保形涂層

納米孔結(jié)構(gòu)的涂層

生物微機電系統(tǒng)

燃料電池

直觀性強的的軟件提高性能

使用與牛津儀器的值得信賴的Plasmalab ®產(chǎn)品家族相同的軟件平臺， OpAL的程序驅(qū)動、多用戶級別、PC2000TM控制的軟件易于操作且可為快速ALD做相應修改。

原子層沉積表面改造提升處理系統(tǒng)

向世界范圍內(nèi)的生產(chǎn)商和研發(fā)者提供沉積工藝解決方案的經(jīng)驗為我們提供了世界上強大沉積工藝庫和沉積工藝能力。以下是牛津儀器等離子技術可以提供的一些沉積工藝的一個范例。討論您的特定需求，我們專業(yè)的銷售和應用工作人員將很高興幫助您選擇合適的沉積工藝和工具，以滿足您的需求。

電介質(zhì)

沉積SiO2—沉積二氧化硅

沉積SiN—沉積氮化硅

二氧化硅(SiO2)的反應離子束濺射沉積(RIBD)技術

金屬氮化物

沉積HfN—沉積氮化鉿（遠程等離子體*輔助）

金屬氧化物

沉積Al2O3-沉積三氧化二鋁

高品質(zhì)光學鍍膜：二氧化硅，二氧化鈦，五氧化二鉭

二氧化鉿反應離子束沉積（HfO2 RIBD）

沉積La2O3—沉積氧化鑭

離子束沉積VaO( 5 - x )--沉積氧化釩 Deposition