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廣電計(jì)量檢測集團(tuán)股份有限公司

光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2021/10/22 13:13:19
  • 訪問次數(shù)4112
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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦洌邷責(zé)o氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗(yàn)箱,高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗(yàn)機(jī),橡塑檢測試驗(yàn)機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì),以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來!






HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺,超低溫試驗(yàn)箱
用途 HMDS預(yù)處理 重量 160kg
光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關(guān)鍵步驟。
光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī) 產(chǎn)品信息

光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)用途: 
  光刻膠倒膠缺陷對于最終的產(chǎn)品良率有著極大的影響。光刻膠倒膠缺陷的產(chǎn)生,很大一部分原因是由于晶圓表面接觸角不佳。光刻的六甲基二硅胺烷(HMDS)涂布工藝正是改善晶圓表面接觸角的關(guān)鍵步驟。
光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),功率MOS器件HMDS鍍膜機(jī)特點(diǎn):

1.HMDS是以氣態(tài)形式氣相涂布在器件(硅片、氮化鎵、砷化鎵、藍(lán)寶石、玻璃、陶瓷等材料)表面;

2.在顯影過程中無需去除硅片表面的HMDS層;

3.在HMDS上面滴光刻膠甩涂時(shí),光刻膠內(nèi)的溶劑不會(huì)破壞HMDS層;

4.多余的HMDS蒸汽將由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道,不會(huì)造成環(huán)境污染;

5.所有制程都在密閉的腔體內(nèi)完成,操做是不會(huì)接觸到HMDS蒸汽,該設(shè)備具有HMDS藥液泄漏檢測報(bào)警裝置;

6.可保存多個(gè)產(chǎn)品制程,制程工藝一鍵完成,無需值守人員。

光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)技術(shù)性能:

1.設(shè)備品牌:雋思                                                        
2.工作室尺寸(mm): 450*450*450,500*500*600 可定制

3 外形尺寸:以實(shí)物為準(zhǔn)

4. 材質(zhì):設(shè)備內(nèi)腔采用優(yōu)質(zhì)耐腐蝕、耐高溫316L醫(yī)用級不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑或優(yōu)質(zhì)不銹鋼,

5. 溫度使用范圍 :80-200℃ 

6. 溫度分辨率 :0.1℃

7. 溫度波動(dòng)度: ≤±0.5

8. 真空壓力: ≤100pa 

9.數(shù)據(jù)記錄:可記錄溫度、壓力等工藝數(shù)據(jù)

10.工藝安全:具有溫度鎖定功能

11.管路加熱:藥液輸送管道可預(yù)熱

12. 控制模式 :人機(jī)界面+PLC

13.藥液瓶 :優(yōu)質(zhì)耐壓防爆型

14. 藥液控制 :可控制HMDS藥夜添加量

15.真空泵:旋片式油泵或渦旋干泵

16. 保護(hù)裝置:HMDS藥液泄漏檢測裝置,HMDS自動(dòng)添加,超溫保護(hù),漏電保護(hù),過熱保護(hù)等


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