產(chǎn)品詳細(xì)介紹：
VHP-5T-4是一款電動(dòng)真空平板式真空熱壓機(jī)，針對(duì)于晶片的焊接或薄膜轉(zhuǎn)移，其可處理樣品尺寸為100mm x 100mm。儀器工作溫度為500℃，在此溫度下可對(duì)樣品實(shí)加的壓力為6T。
技術(shù)參數(shù)：
主要參數(shù) | ·功率：2000W ·電源： 208 - 240VAC, 50 Hz 單相 |
結(jié)構(gòu) | ·兩塊135mm x135mm加熱平臺(tái)，采用高溫合金鋼制成，可承受溫度為500℃ ·加熱管嵌在加熱平臺(tái)的中間，以達(dá)到快速加熱的效果 ·兩個(gè)精密的溫控器獨(dú)立控制兩塊加熱平臺(tái)，可設(shè)置30段升降溫程序 ·水冷管設(shè)計(jì)在加熱平臺(tái)的頂端，以達(dá)到快速冷卻的效果
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液壓泵 | ·40T的電動(dòng)液壓機(jī)與真空腔體相連接 ·兩個(gè)加熱平臺(tái)之間的可移動(dòng)距離為60mm ·自動(dòng)壓力控制并帶有數(shù)顯壓力顯示 ·壓力控制精度為+/-0.5 Mpa ·兩個(gè)加熱平臺(tái)工作溫度為500℃，加熱平臺(tái)頂端安裝有冷卻水管。當(dāng)工作溫度高于200℃時(shí)，請(qǐng)注入冷卻水（>15L/min） |
溫控系統(tǒng)和壓力顯示 | ·兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序，其控溫精度為±5℃，分別獨(dú)立控制兩個(gè)加熱平臺(tái) ·溫控系統(tǒng)采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，并帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù) ·工作溫度為500℃ ·建議升溫速率：0-400℃≦4℃/min 400-500≦2.5℃/min ·軟件和PC接口安裝在控溫儀表上，可將溫度程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中 ·數(shù)字壓力顯示器（控制器）安裝在真空腔體外，可設(shè)置其壓力，當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)置值時(shí)電機(jī)將自動(dòng)停止
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真空腔體 | ·電動(dòng)液壓裝置和加熱臺(tái)都安裝在真空腔體內(nèi) ·真空腔體采用304不銹鋼制作，并焊接有加強(qiáng)筋（防止真空狀態(tài)下腔體變形），真空度可以達(dá)到10E-3 torr ·內(nèi)部腔體尺寸為：372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H) ·真空腔體前端有一直徑為150mm的觀察窗口 ·一個(gè)真空計(jì)安裝在真空腔體上，測(cè)量?jī)?nèi)部的真空度
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水冷（可選） | ·一臺(tái)循環(huán)水冷機(jī)，用于冷卻加熱板，防止過(guò)熱和更快冷卻。需額外購(gòu)買 |
真空泵（可選） | ·機(jī)械泵的真空度可以達(dá)到<5×10E-2Torr（冷態(tài)下參考值） |
外形尺寸 | 800mm(L) x 550mm(W) x 1350mm(H) |
認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
使用注意事項(xiàng) | 注意：氣瓶上必須安裝一個(gè)減壓閥，以保證安全操作。 |
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