產(chǎn)品詳細(xì)介紹;
OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成，其真空度可達(dá)到 10-2 torr。
技術(shù)參數(shù)：
殼體結(jié)構(gòu) | · 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷，使得殼體的表面溫度小于60度 · 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 · 可開(kāi)啟式，更換爐管方便 |
功率 | 5 KW |
電壓 | AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
工作溫度 | 1200℃ |
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
加熱速率 | ≤20 ℃/min |
石英管& 密封法蘭 | · 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi) ·
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加熱區(qū)長(zhǎng)度 | · 三個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度: (880mm, 35" in total) · 溫區(qū) 1: 220mm (8.6" ) · 溫區(qū) 2: 440mm (17.3") · 溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系 |
溫控系統(tǒng)
| · 三個(gè)精密溫度控制器，可獨(dú)立控溫 · PID控制方式,通過(guò)PWM固體繼電器。 · 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀，并可設(shè)置30段升降溫程序. · 帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能 |
控溫精度 | +/- 1℃ |
真空密封系統(tǒng) | · 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥）. · 通過(guò)機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機(jī)械泵和分子泵，真空度可以達(dá)到10-4 torr. · 漏氣率 < 5 m-torr / min
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真空泵 | 采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有進(jìn)口的油污過(guò)濾器，可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過(guò)濾的最小微粒直徑為0.3微米
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數(shù)字式真空顯示計(jì) |
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| · 三個(gè)浮子流量計(jì)，能夠檢測(cè)到氣體的流 · 三路浮子量程分別為 · 10-100 cc/min. · 16-160 cc/min. · 25-250 cc/min · 內(nèi)部安裝有一混氣罐 · 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，可以檢測(cè)氣體壓力及混合槽的壓力 |
閥門(mén) | 四個(gè)不銹鋼閥門(mén)安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，用于控制氣體的流量 |
外形尺寸 | · 爐子: 1100 X 450 x 670mm · 底部移動(dòng)架: 600x600x597mm |
開(kāi)門(mén)斷電 | · 為保證使用安全，該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì)
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凈重 | · 約90Kg |
運(yùn)輸重量 | · 245lbs |
質(zhì)保期 | · 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 |
質(zhì)量認(rèn)證 | · |
使用注意事項(xiàng) | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 · 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
CE certified
