TESCOM 64-3600 系列高靈敏度調(diào)壓器
TESCOM 64-3600 系列高靈敏度調(diào)壓器
64-3600 系列超高純度、高靈敏度減壓型調(diào)壓器提供低壓降、束縛隔膜設(shè)計(jì)，具備 10 Ra/0.25 微米表面光潔度。 進(jìn)口壓力為 600 或 3500 psig（41.4 bar 或 241 bar），出口壓力可高達(dá) 150 psig (10.3 bar)。
規(guī)格
壓力額定值
進(jìn)口壓力上限：600 或 3500 psig / 41.4 或 241 bar
出口壓力范圍：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
閥體材料
經(jīng)電解拋光的 316L 不銹鋼或 316L VAR 不銹鋼
閥座
PCTFE、Teflon PFA® 或 Vespel®
閥桿和閥彈簧
316 不銹鋼
其他部件
316L 不銹鋼
工作溫度
Teflon® PFA 閥座：-40 至 160°F / -40 至 71°C
Vespel® 閥座：-40 至 350°F / -40 至 177°C
PCTFE 閥座：-40 至 140°F / -40 至 60°C
接口尺寸和類型
1/4"、1/2"
外螺紋旋轉(zhuǎn)、內(nèi)螺紋旋轉(zhuǎn)、外螺紋固定、HPIC
1/4" 管接頭
流通能力
Cv = 0.15 或 0.06
重量
2 lbs / 0.9 kg
功能
- 內(nèi)部表面光潔度為 10 Ra 微英寸/0.25 微米
- 閥膜與閥體之間采用金屬對(duì)金屬密封，提供良好的密封性
- 內(nèi)部經(jīng)全面電解拋光處理
- 旨在減少半導(dǎo)體氣體系統(tǒng)中的壓力波動(dòng)
- 滿足嚴(yán)苛的半導(dǎo)體行業(yè)的使用點(diǎn)和
- 氣瓶應(yīng)用要求
