Brooks的CTI-Cryogenics產(chǎn)品是低溫高真空技術(shù)的。我們提供各種各樣的具有*性能、高可靠性和高產(chǎn)能的低溫泵和低溫泵系統(tǒng)設(shè)計。用于高級光譜技術(shù)研究的單臺低溫泵用于半導(dǎo)體制造、數(shù)據(jù)存儲、平板顯示和光學(xué)設(shè)備的低溫泵系統(tǒng)，CTI-Cryogenics創(chuàng)立了的低溫高真空技術(shù)。
CTI 低溫泵(冷凝泵)產(chǎn)品優(yōu)勢：
? 真空度高，無油，符合高要求的真空系統(tǒng)的需要。
? 泵內(nèi)沒有機械運動部件，沒有易損件，安裝靈活，無需特別維護。
? 吸水汽的能力強，抽速大；具有遠端監(jiān)控功能。
? On-Board 型冷凝泵具有全自動快速再生功能。
? 系統(tǒng)不再受接頭、進氣管、閥和擋板等的冷傳導(dǎo)的影響。
? 低溫盤管的安裝不需要高真空閥，可在任何系統(tǒng)中方便地進行。
On-Board® 低溫泵
具有集成控制和外設(shè)部件的低溫泵系統(tǒng)。可以快速的實現(xiàn)與設(shè)備系統(tǒng)的控制的整合和系統(tǒng)集中操控。
? 穩(wěn)定的工藝性能。
? 性能經(jīng)過強化，提供設(shè)備更多的工藝時間。
? 縮短再生時間，是 Cryo-Torr® 系列低溫泵的三分之一到一半。
? 快速再生功能提升*再生之間的性能表現(xiàn)。
? 成組的低溫泵具有群組再生功能，可以大大縮短整個系統(tǒng)的再生時間耗用，增加設(shè)備的有效使用時間。
? 性的服務(wù)支援體系。
On-Board® 低溫泵集成了微電腦控制，可以顯著提高泵體的性能，并提供系統(tǒng)自我診斷和設(shè)備通訊的功能。On-Board® 低溫泵可以適合復(fù)雜的軟體程式控制?，F(xiàn)在的追求性能和可靠性的低溫泵主流應(yīng)用正是采用On-Board® 做為標準的解決方案。
On-Board® 低溫泵為各種高要求的真空工藝提供潔凈、可靠和迅捷的真空獲得手段，并保證了設(shè)備的高產(chǎn)和工藝的穩(wěn)定性。On-Board® 低溫泵有全系列的品種，滿足各類工藝和應(yīng)用條件的選用。
On-Board® 低溫泵技術(shù)參數(shù)：
| On-Board 型號 | 4F | 8 | 8F | 250F | 10 | 10F | 400 | 500 | ||
| 結(jié)構(gòu) | 臥式 | 立式 | 臥式 | 臥式 | 立式 | 臥式 | 立式 | 立式 | ||
| 法蘭內(nèi)徑 | 100 mm | 200mm | 200mm | 250mm | 290mm | 300mm | 400mm | 500mm | ||
| 抽速 | 水 | L/S | 1100 | 4000 | 4000 | 6500 | 9000 | 9500 | 16000 | 30000 |
| 空氣 | L/S | 370 | 1500 | 1500 | 2200 | 3000 | 3600 | 6000 | 10000 | |
| 氫 | L/S | 370 | 2500 | 2200 | 3200 | 5000 | 6000 | 12000 | 12000 | |
| 氬 | L/S | 310 | 1200 | 1200 | 1800 | 2500 | 3000 | 5000 | 8400 | |
| 氣體容量 | 氫 | 標升 | 3 | 17 | 12 | 16 | 24 | 24 | 42 | 45 |
| 氬 | 標升 | 210 | 1000 | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 2500 | 6000 | |
| 通導(dǎo) | 氫 | Sccm | 700 | 700 | 700 | 700 | 1500 | 1500 | 500 | 1000 |
| 氬 | L/S Torr | 9 | 9 | 9 | 9 | 19 | 19 | 6 | 13 | |
| 啟動流量 | Torr L | 100 | 150 | 150 | 150 | 300 | 300 | 300 | 600 | |
| *再生（常規(guī)） | < 1.4h | < 2.7h | < 2.7h | < 3.3h | < 2.2h | <2.2h | < 3.8h | 225min | ||
| 快速再生（常規(guī)） | < 0.7h | < 1.0h | < 1.0h | < 1.5h | < 1.0h | < 1.0h | < 1.6h | |||
| 重量 | 千克 Kg | 21 | 25 | 24 | 26 | 43 | 45 | 77 | 118 | |
Cryo-Torr® 低溫泵
? CTI-Cryogenics 基礎(chǔ)級的低溫泵。
? 多年歷史證明的出色性能和可靠品質(zhì)。
? 靈活加裝使用者的控制裝置和外設(shè)部件。
? 性的服務(wù)支援體系。
Cryo-Torr® 低溫泵為各種高要求的真空工藝提供潔凈、可靠和迅捷的真空獲得手段。
Cryo-Torr® 低溫泵以高可靠性、維護快速、低使用成本和高時效的服務(wù)支援而著稱。
Cryo-Torr® 低溫泵技術(shù)參數(shù)：
| Cryo-Torr 型號 | 4F | 8 | 8F | 250F | 10 | 10F | 400 | ||
| 結(jié)構(gòu) | 臥式 | 立式 | 臥式 | 臥式 | 立式 | 臥式 | 立式 | ||
| 法蘭內(nèi)徑 | 100 mm | 200mm | 200mm | 250mm | 290mm | 300mm | 400mm | ||
| 抽速 | 水 | L/S | 1100 | 4000 | 4000 | 6500 | 9000 | 9500 | 16000 |
| 空氣 | L/S | 370 | 1500 | 1500 | 2200 | 3000 | 3600 | 6000 | |
| 氫 | L/S | 370 | 2500 | 2200 | 3200 | 5000 | 6000 | 12000 | |
| 氬 | L/S | 310 | 1200 | 1200 | 1800 | 2500 | 3000 | 5000 | |
| 氣體容量 | 氫 | 標升 | 3 | 17 | 8 | 16 | 24 | 24 | 15 |
| 氬 | 標升 | 210 | 1000 | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 2500 | |
| 通導(dǎo) | 氫 | Sccm | 700 | 700 | 700 | 700 | 1500 | 1500 | 500 |
| 氬 | L/S Torr | 9 | 9 | 9 | 9 | 19 | 19 | 6 | |
| 啟動流量 | Torr L | 100 | 150 | 150 | 150 | 300 | 300 | 300 | |
| 降溫時間 | 60HZ | 75min | 90min | 100min | 100min | 100min | 100min | 150min | |
| 50HZ | 90min | 110min | 110min | 120min | 120min | 120min | 180min | ||
| 重量 | 千克 Kg | 17 | 20 | 19 | 22 | 39 | 41 | 73 | |
制冷機系列
Cryodyne制冷機系統(tǒng)是一系列雙級、閉式循環(huán)氦氣氦氣制冷機系統(tǒng)，其原理基于吉福特-麥克馬洪熱力循環(huán)，適用于10K~80K的商業(yè)應(yīng)用和研究。
| Cryodyne 制冷機系列 | ||||
| 單級制冷機 | ||||
| 型號 | 性能 | 重量(kg) | 冷卻時間 | 配置壓縮機型號 |
| M-22 | 10 watts@77K | 6 | 24 min至80K | 8200 |
| M-350 | 40 watts@77K | 15 | 20 min至80K | 8200 |
| M-1050 | 80 watts@77K | 15 | 16 min至80K | 9600 |
| 雙級制冷機 | ||||
| 型號 | 性能 | 重量(kg) | 冷卻時間 | 配置壓縮機型號 |
| M-22 | 1 watts@20K 8 watts@77K | 6.5 | 30 min至20K | 8200 |
| M-350 | 4 watts@20K 20 watts@77K | 15 | 50 min至20K | 8200 |
| M-1020 | 12 watts@20K 35 watts@77K | 15 | 50 min至20K | 9600 |
| M-1050 | 7 watts@20K 65 watts@77K | 15 | 50 min至20K | 9600 |
Compressors 氦氣制冷壓縮機
