日立掃描電子顯微鏡（SU3800）沿用了已 經(jīng)經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的GU I界面。另外還搭 載了*的SEM MAP, 而且相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)提供超大視野導(dǎo)航，為操作人員提供更加貼心順暢的操作體驗(yàn)。
配備了多功能超大樣品倉(cāng)，可以搭載多種 配件。而且也適用于直徑 20 0 m m {SU3 800 )、可升級(jí)為直徑30 0 m m {SU 390 0)的大型樣品。
全更換樣品
通過(guò)更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品。
自動(dòng)調(diào)整
通過(guò)自動(dòng)啟動(dòng)功能和自動(dòng)光軸調(diào)節(jié)功能， 可以快速觀察。
廣角相機(jī)導(dǎo)航x
廣角相機(jī)導(dǎo)航覆蓋了大觀測(cè)區(qū)的整個(gè)區(qū)域。
SEM MAP
您可以順利找到目標(biāo)觀察物。
分析解決方案
除了—體化集成 EDS 功能氣以外，還可與其他設(shè)備和軟件聯(lián)用。
Report Creator
可以將SEM /EDS/ SEM MAP 圖像統(tǒng)一任意布局，根據(jù)需求個(gè)性化輸出報(bào)告。
超多選配項(xiàng)
標(biāo)配超大多功能樣品 倉(cāng)?？芍С?/span>In -Si t u 分析。
· 通過(guò)鼠標(biāo)操作，可實(shí)現(xiàn)直觀的視野移動(dòng)
通過(guò)點(diǎn)擊或拖拽實(shí)時(shí)圖像上的任意位詈，即可移動(dòng)視野?？扇Χ▽?shí)時(shí)圖像上的任一位置，被圈定的位置可移動(dòng)到視野并放大。
· 簡(jiǎn)單操作，如同觸屏般直觀
· 從移動(dòng)樣品臺(tái)到樣品觀察 ，輕輕點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可實(shí)現(xiàn)。
· 也可觸屏操作。
· 主窗口為1,280x960 像素的大窗口。
· 可以切換顯示模式 ，并且同時(shí)顯示／拍攝兩種不同的信號(hào)。
· 自動(dòng)軸距調(diào)整功能
光軸調(diào)整以及更換燈絲之后所需 實(shí)施的各種調(diào)整工作已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了 自動(dòng)化。由此能夠抑制光軸和視野的偏差，從而再也無(wú)需依靠操作人員的技能如何，都可以重現(xiàn)性較好地獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。
配備了電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)的自動(dòng)調(diào)整功能。放入樣品并抽真空之后，通過(guò)自動(dòng)啟動(dòng)功能可以實(shí)現(xiàn)圖像自動(dòng)調(diào)整，并在電子束照射后立即獲取清晰的圖像。
高度自動(dòng)化功能采用全新設(shè)計(jì)的演算程序，在執(zhí)行圖 像自動(dòng)調(diào)整功能時(shí)，等待時(shí)間縮短到以往的1/3以下。不需要繁瑣的畫(huà)像調(diào)整，可輕松獲得高通量的圖像數(shù)據(jù)。
搭載Intel ligent Filament Technology(IFT)
· 自動(dòng)監(jiān)視燈絲的狀態(tài)，自動(dòng)控制，使其一直處于合適的性能狀態(tài)。
· 搭載顯示燈絲更換時(shí)間的顯示屏 。
通過(guò)該功能，使得原來(lái)難以對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實(shí)現(xiàn)。
擴(kuò)展了真空模式和檢測(cè)功能，以滿(mǎn)足多樣化的觀察需求。除了可以安裝二次電子探測(cè)器，以及在任何真空模式下都可操作的高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器之外，還可以安裝 UVD。可以獲得樣品凹凸信息以及通過(guò)電子束照射產(chǎn)生的陰極熒光(CL信息）。
通過(guò)采用4分割+l單元的設(shè)計(jì)，對(duì)每個(gè)單元進(jìn)行計(jì)算，無(wú)需傾斜樣品，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。探測(cè)器的設(shè)計(jì)十分精巧，且靈敏度高，實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高信噪比 。
紅外CCD探測(cè)器是用于監(jiān)控樣品 倉(cāng)內(nèi)部的裝置。通過(guò)使用紅外線攝像機(jī)，可以在觀察SEM圖像的同時(shí)監(jiān)視樣品倉(cāng)內(nèi)部情況。為了獲得更詳細(xì)的位置，可放大CCD圖 像，并且移動(dòng)觀察位置。
Zigzag功能可以自動(dòng)獲取連續(xù)的視野。MultiZigzag 可以在樣品臺(tái)的多個(gè)區(qū)域設(shè)定Zigzag,在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像，并能夠使用Viewer功能來(lái)拼接拍攝的圖像從而創(chuàng)建大視野圖像。
與GUI 聯(lián)合的SEM MAP實(shí)現(xiàn)了廣角相機(jī)導(dǎo)航米。 在SEM MAP上觀察目標(biāo)位置 ，可以順利地移動(dòng)到位置上。使用大視野相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像，通過(guò)自由放大或縮小圖像，可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM 圖像。
相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)通過(guò)圖像拼接功能可以實(shí)現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域127mm/直徑200mm , 并且可以與樣品臺(tái)R一起聯(lián)動(dòng)，移動(dòng)到大型樣品的大觀察區(qū)域。
Hitachimap 3D可對(duì)SU3800的5分割背散射電子探測(cè)器當(dāng)中的 4個(gè)不同方向的SEM信號(hào)進(jìn)行演算分析 ，生成三維圖像。支持2點(diǎn)間高度、體積和簡(jiǎn)易 表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）測(cè)量?？梢淮涡越邮账膫€(gè)不同方向的信號(hào) ，因此，無(wú)需傾斜樣品臺(tái)或合成圖像。
日立掃描電子顯微鏡（SU3800）使用案例（電子產(chǎn)品）：
