技術(shù)應(yīng)用鏈接:
Tetra 800 LF-PC | 特殊設(shè)備
開關(guān)柜:寬 600 mm、高 1800 mm、深 800 mm
腔室:寬 1250 mm、高 550 mm、深 1120 mm
腔室容積:約 800 升
氣體供給:通過 MFC 控制的 3 個氣體通道
發(fā)生器:1 個 (40 kHz)
控制系統(tǒng):配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
關(guān)鍵詞:
Diener
等離子表面處儀
Tetra800
未找到相應(yīng)參數(shù)組,請于后臺屬性模板中添加