智能模塊化設(shè)計
CCU-010是一種緊湊型全自動高真空離子濺射儀，同時可以通過更換靶頭作為高真空碳鍍膜機進行使用，使用非常簡單。由于的插件概念，該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā)，只需更換工藝頭。涂層前后可進行等離子處理。模塊化設(shè)計使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。CCU-010有一個靜態(tài)樣品臺，包括高度調(diào)節(jié)和傾斜。它可以安裝一個可選的變速旋轉(zhuǎn)階段或旋轉(zhuǎn)行星階段，每個選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段，膜厚監(jiān)測都作為標準。
多樣性的真空互聯(lián)
CCU-010HV高真空離子濺射儀覆蓋了所有性能的掃描電子顯微鏡、透射電鏡和薄膜應(yīng)用。模塊化設(shè)計讓常規(guī)真空系統(tǒng)轉(zhuǎn)換到高真空系統(tǒng)非常方便。
簡單操作、維護方便
打開包裝，連接并啟動！即插即用的概念允許您自己啟動設(shè)備。你只需要接通電源和處理氣體。通過集成的USB服務(wù)接口，服務(wù)技術(shù)人員可以通過互聯(lián)網(wǎng)連接在現(xiàn)場或遠程運行快速錯誤分析。模塊化設(shè)置允許直接更換有缺陷的部件。
操作簡單、維護方便
打開包裝，連接并啟動！即插即用的概念允許您自己啟動設(shè)備。你只需要接通電源和處理氣體。通過集成的USB服務(wù)接口，服務(wù)技術(shù)人員可以通過互聯(lián)網(wǎng)連接在現(xiàn)場或遠程運行快速錯誤分析。模塊化設(shè)置允許直接更換有缺陷的部件。
?自動閥門控制兩種氣體的排放過程。
?可選擇速度控制旋轉(zhuǎn)或行星齒輪臺，用于固定不同類型的試樣和樣品臺。
?視覺化設(shè)計的用戶軟件界面，具有多種一鍵功能操作。
?基于Windows軟件的涂層軟件LAB，可以進行數(shù)字化的涂層結(jié)構(gòu)編輯。
?如果系統(tǒng)關(guān)閉或斷電（如果使用無油泵操作），您可以保持系統(tǒng)處于真空狀態(tài)。
?在斷電情況下自動排放系統(tǒng)的功能，防止系統(tǒng)受到備用泵油的污染（如果使用油封泵操作?簡單的插入式電氣和氣動接口，用于將涂層頭連接至基本單元，允許在幾秒鐘內(nèi)在模塊之間進行交換。
?程序會自動識別并將調(diào)出所需要的菜單。
技術(shù)指標
外形尺寸： | 580×360×350mm | 真空測量： | 皮拉尼計和冷陰極壓力計 |
儀器重量： | 32kg | 控制模式： | 自動觸摸屏Windows軟件系統(tǒng) |
電源要求 | 100-240VAC | 靶材尺寸： | φ54mm |
倉室尺寸： | φ120 | 濺射電流： | 10-100mA |
真空泵： | 集成式渦輪分子泵 | 濺射時間： | ≤900s |
極限真空： | 2×10^(-6)mbar/2×10^(-4)Pa | 供氣選項： | 氬氣、氮氣、空氣等可選 |
