電子級(jí)硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純?cè)噭?，是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中*的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑，主要用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒、無機(jī)殘留物和碳沉積物。電子級(jí)硫酸的純度和潔凈度對(duì)電子元件的成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。
從純度上來講，電子級(jí)和分析純的化學(xué)品，相對(duì)于普通化學(xué)品，其純度都很高，雜質(zhì)含量少，但是兩個(gè)屬于不同的標(biāo)準(zhǔn)體系，對(duì)雜質(zhì)的關(guān)注點(diǎn)不一樣。 電子級(jí)是對(duì)用于電子元器件生產(chǎn)過程中使用的化學(xué)品的一種泛指，相對(duì)于一般工業(yè)，其純度要求更高，尤其是平板顯示行業(yè)或者半導(dǎo)體行業(yè)。其更每種化學(xué)品更中的有害雜質(zhì)含量，金屬離子，固體顆粒等等。用于半導(dǎo)體工業(yè)的電子級(jí)化學(xué)品純度一般比分析純的化學(xué)試劑更高，可參考SEMI相關(guān)化學(xué)品的標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)于芯片生產(chǎn)過程來說，一般情況下，純度會(huì)在99.999%數(shù)量級(jí)，12寸芯片生產(chǎn)可能會(huì)用到99.999999999%純度的化學(xué)品。 分析純是化學(xué)試劑的一個(gè)純度標(biāo)準(zhǔn)，這個(gè)系列里包括 優(yōu)級(jí)純，分析純，化學(xué)純和實(shí)驗(yàn)純。其中分析純干擾雜質(zhì)很少，適用于工業(yè)分析及化學(xué)實(shí)驗(yàn)，比如用于滴定之類的分析。
在復(fù)雜的芯片生產(chǎn)工藝中，硫酸也是*的試劑。
硅圓片在加工過程中，常常會(huì)被不同的雜質(zhì)所沾污，硅圓片上不溶性固體顆?；蚪饘匐x子可能在微細(xì)電路之間導(dǎo)電，使之短路。鈉、鈣等堿金屬雜質(zhì)也會(huì)融進(jìn)氧化膜中，導(dǎo)致耐絕緣電壓下降。硼、磷、砷等雜質(zhì)離子會(huì)影響擴(kuò)散劑的擴(kuò)散效果，塵埃顆粒會(huì)造成光刻缺陷，氧化層不平整，影響制版質(zhì)量和等離子蝕刻工藝。
為了獲得高質(zhì)量集成電路芯片，必須除去各種沾污物，這就需要使用非常純凈的化學(xué)試劑來清洗硅圓片。硫酸和過氧化氫可以按比例組成有強(qiáng)氧化性的SPM清洗液，將有機(jī)物氧化成CO2和H2O。它還可用于光刻過程中的濕法蝕刻去膠，借助于化學(xué)反應(yīng)從硅圓片的表面除去固體物質(zhì)，導(dǎo)致固體表面全部或局部溶解。
硫酸在此處的作用是消除晶圓上的各種雜質(zhì)，那么其本身就肯定不能做為污染源再引入雜質(zhì)，因此該工藝對(duì)于硫酸本身純凈度的要求也相當(dāng)高。1975年，美國的半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)（Semiconductor Equipment and Materials International，SEMI）首先為微電子工業(yè)配套的電子級(jí)化學(xué)品制定了統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)（SEMI標(biāo)準(zhǔn)）；1978年，德國的默克公司也制定了MOS標(biāo)準(zhǔn)。兩種標(biāo)準(zhǔn)對(duì)電子級(jí)化學(xué)品中金屬雜質(zhì)和微粒（塵埃）的要求各有側(cè)重，分別適用于不同級(jí)別IC的制作要求。
E-Scan系列電子級(jí)硫酸濃度在線分析儀采用臨界角檢測原理，檢測不受物料的顏色，渾濁度，氣泡，固體顆粒等雜質(zhì)的影響、具備高精度的自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能。采用優(yōu)秀的分體式體式，全屏蔽抗干擾設(shè)計(jì)，光電信號(hào)直接轉(zhuǎn)換處理。摒棄一體式不耐振動(dòng)和高溫的影響的缺點(diǎn)，保障了在線測量的精度及延長儀器使用壽命。內(nèi)置光纖光路傳導(dǎo)系統(tǒng)，擁有優(yōu)秀的抗震性能和高穩(wěn)定性、內(nèi)置溫度傳感器和干燥劑有效監(jiān)測糖度儀的運(yùn)行狀態(tài)。
E-Scan系列電子級(jí)硫酸濃度在線分析儀可以安裝在不同管徑的管道或者罐體容器壁上，進(jìn)行濃度監(jiān)測和控制，可以直接顯示質(zhì)量*（Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用戶自定義的單位，現(xiàn)場顯示并可以模擬信號(hào)（RS232)遠(yuǎn)傳至電腦進(jìn)行即時(shí)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、打印、追溯等功能；通過4-20ma信號(hào)遠(yuǎn)傳至plc/dcs /變頻器進(jìn)行監(jiān)控或控制。
E-Scan系列電子級(jí)硫酸在線分析儀擁有以下特征：
●316ss材質(zhì)的傳感器使其滿足化工、半導(dǎo)體行業(yè)的要求并且耐溫高達(dá)150℃；
●免維護(hù)、無耗材、無漂移、自診斷功能，智能報(bào)警信號(hào)輸出功能；
●防護(hù)等級(jí)：NEMA4X(IP67）；
●自動(dòng)溫度補(bǔ)償（軟件擁有豐富的產(chǎn)品線性數(shù)據(jù)庫和溫度補(bǔ)償數(shù)據(jù)庫）；
●多組4-20maA模擬信號(hào)及數(shù)字信號(hào)輸出（隔離，非隔離可選）；
●3648高分辨率的CCD；
●多種報(bào)警信息輸出顯示（高低/高高/低低/偏差）；
●可循環(huán)的干燥劑，無耗材，免維護(hù)；
●光源為589nmled燈，壽命長達(dá)100000小時(shí)；
●安裝適配器標(biāo)準(zhǔn):PTFE,Tantalum、Alloy20、teflon；
●高精度，高品質(zhì)“美國制造”
