檢漏儀采用于檢測(cè)氦氣的質(zhì)譜儀,以氦氣作為示蹤氣體來(lái)定位和/或測(cè)量封閉設(shè)備或系統(tǒng)中的微小泄漏。移動(dòng)式HLDMR30既是一款精密的儀器,也是一款耐用的主力儀器,具有簡(jiǎn)便易用的觸摸屏界面和菜單結(jié)構(gòu),便于用戶(hù)快速利用其強(qiáng)大的檢漏功能。內(nèi)置的應(yīng)用設(shè)置可縮短測(cè)試循環(huán),可保存設(shè)置以確保重復(fù)性。四個(gè)輪子可輕松滾動(dòng)到合適位置。MR30包括AgilentDS-602旋片泵,抽氣速率為30m3/h,用于極快排空測(cè)試部件和系統(tǒng),并在測(cè)試循環(huán)之間快速凈化環(huán)境氦氣。
美國(guó)Agilent HLD MR30 移動(dòng)式氦氣檢漏儀特性:
六個(gè)不同的應(yīng)用設(shè)置向?qū)в兄谀鷮x器正確地配置以獲得*性能,確保恰當(dāng)?shù)卦O(shè)置參數(shù)以便完整、有效地進(jìn)行測(cè)試。
觸摸屏界面更大、更耐用且響應(yīng)更靈敏,能夠180°旋轉(zhuǎn),非常便于查看。
更明確、更直觀的用戶(hù)界面。提供常用功能的快速訪(fǎng)問(wèn)以及扁平的菜單結(jié)構(gòu),方便您快速查找所需設(shè)置。
開(kāi)機(jī)向?qū)軌驇椭脩?hù)在*接通電源后對(duì)儀器進(jìn)行設(shè)置。
增強(qiáng)的圖表功能:便于仔細(xì)檢查數(shù)據(jù)的放大模式、彩色標(biāo)記的設(shè)定值以及記錄泄漏速率和壓力的時(shí)間曲線(xiàn)。
更大的工作面積為需要測(cè)試的部件和工具等提供了充足的空間。
經(jīng)改善的關(guān)機(jī)程序能夠使檢漏儀處于真空環(huán)境并保護(hù)渦輪分子泵。
更強(qiáng)的機(jī)動(dòng)性有助于更輕松到達(dá)半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)或其他生產(chǎn)環(huán)境中狹窄的服務(wù)區(qū)域和范圍。
美國(guó)Agilent HLD MR30 移動(dòng)式氦氣檢漏儀性能指標(biāo):
初級(jí)泵和抽氣速率: | DS 602 旋片泵,30 m3/h |
可檢質(zhì)量數(shù): | 4 |
氦氣抽氣速率: | 1.8 L/s |
靈敏度: | 5 × 10-12 mbar?L/s |
顯示范圍: | 10-4 至 10-11 |
zui大測(cè)試口壓力: | 13 mbar |
無(wú)線(xiàn)遙控器 | 有 |
支持八種語(yǔ)言: | 中文、英語(yǔ)、法語(yǔ)、德語(yǔ)、日語(yǔ)、韓語(yǔ)、俄語(yǔ)和西班牙語(yǔ) |
接口選項(xiàng) | 模擬、RS232 和分離式 I/O |