典型渦輪泵應(yīng)用
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計旨在實際應(yīng)用中達(dá)到*性能。泵的緊湊型設(shè)計滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用
| 領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
| 質(zhì)譜和分析儀器 |
|
|
| 科研中的真空應(yīng)用 |
|
|
| 工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積：
設(shè)備加工：
一般工藝：
|
| 納米技術(shù)儀器 |
|
|
美國Agilent TwisTorr 304 FS渦輪分子泵性能指標(biāo)：
| 抽速： 使用 CFF 6 英寸或 ISO 100：使用 CFF 8 英寸或 ISO 160： |
N2：250 L/s | He：255 L/s He：255 L/s |
H2：220 L/s |
Ar：250 L/s |
| 全轉(zhuǎn)速zui大氣載（使用推薦前級泵） 環(huán)境溫度 (25 °C) 水溫 (25 °C，50 L/h) | N2：170 sccm N2：170 sccm | Ar：110 sccm Ar：110 sccm | ||
| 壓縮比與前級壓力關(guān)系： | N2：> 1 × 1011 N2：> 10 mbar | He：> 1 × 108 H2：> 10 mbar | H2：1.5 × 106 H2：> 4 mbar | Ar：> 1 × 1011 Ar：> 10 mbar |
| 極限真空*（使用推薦的前級泵） (5 m3/h) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
| 抽氣口法蘭 | 8 英寸外徑 CFF 2.6 英寸外徑 CFF | ISO 160 ISO 100 | ||
| 前級管道法蘭 | KF 16 NW（KF25 — 可選） | |||
| 轉(zhuǎn)速 | 60000 rpm（1010 Hz 驅(qū)動頻率） | |||
| 啟動時間 | 小于 3 分鐘 | |||
| 推薦的前級泵 | 機(jī)械：Agilent DS 102 干泵：Agilent SH 110 | |||
| 工作位置 | 任意 | |||
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 空氣相對濕度 | 0%–90%（無冷凝） | |||
| 烘烤溫度 | 抽氣口法蘭zui高溫度 120 °C（CFF 法蘭）抽氣口法蘭zui高溫度 80 °C（ISO 法蘭） | |||
| 潤滑油 | yognjiu性潤滑 | |||
| 冷卻要求 | 風(fēng)扇冷卻（環(huán)境溫度 5–35 C） 水冷（如果環(huán)境高于 35 ℃，需強(qiáng)制水冷） | |||
| 冷卻水 | zui小流速： 50 L/h (0.89 GPM) | 溫度： +15 ℃ 至 +30 ℃ | 壓力： 3 至 5 bar（45 至 75 psi） | |
| 噪聲聲壓級 | 在 1 米處，< 50 dB(A) | |||
| 儲存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
| zui高海拔 | 3000 m | |||
| 重量 kg（磅）： | 泵 ISO 100： | 泵 CFF 6 英寸： | 泵 ISO 160： | 泵 CFF 8 英寸：
|
高真空渦輪分子泵采用 Twistorr 拖動技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動技術(shù)對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓，進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實惠、更小型的前級泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動，并能保證*的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，zui大程度縮短系統(tǒng)停機(jī)時間，并能確保長時間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 304 FS 泵*的軸承和干式潤滑劑設(shè)計，使得泵無需泵油和維護(hù)，能夠以任意方向安裝?？蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
美國Agilent TwisTorr 304 FS渦輪分子泵特性：
創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對小分子氣體能提供高壓縮比，而非常小巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計則實現(xiàn)了高性能和zui小的系統(tǒng)占用空間。
高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動，低噪音，*的軸承工作條件，延長泵的使用壽命，實現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化，zui大程度減少系統(tǒng)停機(jī)時間，并保證長時間穩(wěn)定的抽氣性能。
*的軸承和干式潤滑劑 — 免維護(hù)、免油，實現(xiàn)任意角度安裝。
銅制水冷通道（可選） — 可避免腐蝕，優(yōu)化熱傳遞性能，降低用水量和使用維護(hù)成本。
