LVD-F1是一款專(zhuān)門(mén)針對(duì)實(shí)驗(yàn)室中CVD實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的一套系統(tǒng),其液體流量是通過(guò)一數(shù)字液體泵來(lái)控制,較大流量為10ml/min。液體被蠕動(dòng)泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后,被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。LVD-F1能夠?qū)С龆喾N液體,比如ETOH, SnCl4, TiCl4r, SiHCl3, 和Zn(C2H5)2,還有多種有機(jī)物混合。對(duì)于研究用CVD方法生長(zhǎng)納米線和薄膜LVD-F1是一款的研究設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱(chēng) | 精密液體氣相發(fā)生器--LVD-F1 |
產(chǎn)品結(jié)構(gòu) |
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電源 | 220V 50Hz 功率:2200W |
蠕動(dòng)泵 | 精確度:±0.5%FS。 流量:0-10ml/min,可調(diào),至小速率0.1ml/min。 將吸收管放置在溶液容器中,蠕動(dòng)泵可自動(dòng)收取液體。 |
加熱&控溫 | 流體和氣體會(huì)在一個(gè)316不銹鋼罐中加熱,此罐已經(jīng)安裝在殼體中,不銹鋼罐加熱*溫度:550℃。 不銹鋼出氣管出設(shè)置有二次加熱帶,防止蒸汽在輸出過(guò)程中冷凝,二次加熱帶加熱*溫度:200℃。 |
氣體流量控制 | 氣體流速通過(guò)浮子流量計(jì)控制。 量程;0.2-2L/min(可調(diào))。 一壓力表安裝在殼體面板上,可以測(cè)出液氣混合罐中的氣體壓強(qiáng)。 面板上安裝有兩個(gè)不銹鋼針閥,以控制氣體的進(jìn)出。 出氣口尺寸:1/4” OD的316不銹鋼口 |
質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
質(zhì)保期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示:1、耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝不包括在內(nèi)。 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
使用提示 | 可以選擇加熱帶,纏繞在外連接的管道上,以保證液體蒸汽在傳輸?shù)倪^(guò)程中不會(huì)液化(圖一) 您可以選購(gòu)精密質(zhì)子流量計(jì),輸入氣體更加準(zhǔn)確(圖二)。 此系統(tǒng)可以和本公司所有的管式爐和CVD系統(tǒng)相連接 圖一 圖二 |
外形尺寸
| 390 L×420 W ×360 H mm 凈重:10Kg |
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