設(shè)備特點(diǎn)
此款CVD系統(tǒng)是由多通道高精度的質(zhì)量流量計(jì)、低真空機(jī)組以及1500度高溫管式爐組成。其廣
泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領(lǐng)域。
加熱區(qū)參數(shù)：
| 爐管尺寸：Φ 50×700mm 加熱元件：硅碳棒 加熱區(qū)長度：160mm 推薦升溫速度：1400℃以下≤10℃/min，1400℃以上≤5℃/min 額定功率：2.5KW 外型尺寸： 420×295×520 mm 密封系統(tǒng)：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭） 端口可按實(shí)際使用擴(kuò)展。 標(biāo)準(zhǔn)配件：剛玉管1根，不銹鋼密封法蘭1套，氟膠密封圈2套，氧化鋁管堵4只，高溫手套1副，坩堝鉤1支，小保險(xiǎn)1個(gè)。 備注：可選配1200℃、1400℃、1600℃、1700℃等不同溫區(qū)的管式爐。 |
氣路系統(tǒng)參數(shù)：
| 質(zhì)量流量計(jì)參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可選） 準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa Z大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。 |
低真空系統(tǒng)參數(shù)：
| 國產(chǎn)油泵型號(hào)：BSV-10 抽速：10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220v 50hz 電機(jī)功率：0.4kw 進(jìn)排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機(jī)轉(zhuǎn)速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計(jì)參數(shù)： 1.配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)， 2.測(cè)量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.測(cè)量路數(shù)： 1路 4.控制范圍： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
