艾里卡特MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門控制較小流量,適用于非腐蝕性氣體。
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D
艾里卡特MCPW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用孔徑的小型閥門,適用于非腐蝕性氣體。
MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D
艾里卡特MCHW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器將兩個小型閥門并排成對,用作一個閥門,適用于非腐蝕性氣體。
MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D
艾里卡特MCRW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門,可選用各種孔徑,實(shí)現(xiàn)對較大流量的控制,適用于非腐蝕性氣體。
MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR