艾里卡特MCDW系列低壓損雙向氣體質量流量控制器采用小型比例閥門控制較小流量,適用于非腐蝕性氣體。
MCDW-0.5SCCM-D
MCDW-1SCCM-D
MCDW-2SCCM-D
MCDW-5SCCM-D
MCDW-10SCCM-D
MCDW-20SCCM-D
MCDW-50SCCM-D
MCDW-100SCCM-D
MCDW-200SCCM-D
MCDW-500SCCM-D
MCDW-1SLPM-D
MCDW-2SLPM-D
艾里卡特MCRDW系列低壓損雙向氣體質量流量控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門,可選用各種孔徑,實現對較大流量的控制,適用于非腐蝕性氣體。
MCRDW-5SLPM-D
MCRDW-10SLPM-D
MCRDW-20SLPM-D
MCRDW-40SLPM-D
MCRDW-50SLPM-D
MCRDW-100SLPM-D
MCRDW-250SLPM-D
MCRDW-500SLPM-D