真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)由真空泵、真空組件、真空測量等組成;數(shù)顯真空控制器,顯示腔內(nèi)相對壓強(qiáng)并可根據(jù)工藝要求控制壓力值。
真空無氧烤箱是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無氧烘箱中,通入N2→真空置換后,采用多級升溫保溫的方式,在規(guī)定的時(shí)間從室溫升至第一溫度階段,并在該溫度段保溫1-2h,再在規(guī)定的時(shí)間從第一溫度升至第二溫度階段,并在該溫度段保溫一定的時(shí)間;隨后增通過輔助的降溫系統(tǒng)(水冷和風(fēng)冷),將退火爐的溫度降至80度左右,完成固化。
溫度范圍: 120~ 400/500℃;
溫度波動度:≤±1℃
升溫速度:0-10℃/min;
降溫方式:水冷降溫
氮?dú)饪刂疲弘姶砰y+可調(diào)試流量計(jì)控制
氧含量檢測:氧濃度檢測儀,氧含量可達(dá)20ppm
工作腔尺寸(mm):
W350×H350×D350
W500×H500×D600
W600×H600×D600
可定制
真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)溫控系統(tǒng):
操作界面:人機(jī)界面+PLC,可一鍵運(yùn)行,多個(gè)工藝編輯;
溫度測量:K型熱偶;
控制儀表:高精度溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃,可程式觸摸屏控制器可選擇;
超溫保護(hù)儀表:獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng),保證試驗(yàn)品的安全;
控制系統(tǒng):主要電器件均采用施耐德、正泰等品牌元?dú)饧?/span>