一、產(chǎn)品介紹
半導(dǎo)體集成電路（IC）/晶圓制造是我國重點扶持和發(fā)展的領(lǐng)域，在生態(tài)環(huán)境保護(hù)方面，IC/晶 圓制造廠也在加大投入污染治理和污染物在線監(jiān)控，以降低對生態(tài)環(huán)境和居民的影響。
二、半導(dǎo)體IC／晶圓制造廠煙氣排放在線監(jiān)測技術(shù)特點
然而，IC/晶圓制造廠的廢氣/煙氣排放煙囪很多，有酸性排口，堿性排口（NH3）和VOCs排 口，每個Fab廠都有十到幾十個煙囪排口，而且酸性氣體多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和VOCs種類多（非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要對每個煙囪排口進(jìn)行在線監(jiān)測，就需要綜合考慮國際上*的監(jiān)測技術(shù)和建設(shè)經(jīng)濟(jì)效益，選擇的解決方案。
三、BO-SYS400IC解決方案
BO-SYS400IC是我司針對上述難點所提供的整體解決方案，滿足同時監(jiān)測全部排口，多種因子，包括了酸性氣體、堿性氣體和VOCs氣體。該方案采用了*的光譜法（UV/IR）監(jiān)測酸堿氣體和氣相色譜法（GC-FID）監(jiān)測VOCs氣體。
