PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)
主要特點(diǎn) | - 通過(guò)控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間。
- 時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
- 設(shè)有一個(gè)三通閥，可精確控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體。
- 選用大功率色射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。
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參數(shù) | - 電源：AC220V 50/60Hz
- 輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W
- 真空泵功率：<500W
- 總功率：<600W
- 射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié)
- 等離子腔體：高純石英腔體，Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗
- 真空泵：24L/min，直連式雙旋真空泵
- 極限真空度：50mtorr
- 通入氣體：可通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定）
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產(chǎn)品規(guī)格 | - 尺寸：400mm×300mm×300mm
- 重量：10.2kg
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可選配件 | - 2″-6″石英舟（盛放基片）
- 2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)
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質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
