SP-85KTC是一款較大型高溫感應(yīng)加熱/熔煉爐系統(tǒng)，配用30KW感應(yīng)加熱器，8.5英寸（216mm）石英管，鉸接式法蘭及閥門(mén)，石墨坩堝、石墨毯、氧化鋁保溫毯，16L/min循環(huán)冷水機(jī)，真空泵和移動(dòng)爐架。針對(duì)于生長(zhǎng)晶體，金屬熔煉和各種材料的熱處理是的實(shí)驗(yàn)幫手。儀器高溫度可以達(dá)到2000℃（使用時(shí)石英管內(nèi)需通入保護(hù)性氣體）。
警告:
使用此儀器時(shí)，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動(dòng)氬氣下進(jìn)行，流量小于200ml/m，需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa，操作儀器前，必須仔細(xì)閱讀說(shuō)明書(shū)，而且操作人員需帶防護(hù)面罩。實(shí)驗(yàn)升溫過(guò)程中需時(shí)刻注意石英管內(nèi)的氣壓，若氣壓超過(guò)安全值，會(huì)引起石英管開(kāi)裂，法蘭蹦出甚至造成人身傷害。
技術(shù)參數(shù)
感應(yīng)加熱器
| - 工作電壓: 三相380VAC ，50Hz (需60A空氣開(kāi)關(guān)）
- 工作電流: 7~70 Amps (需100A空氣開(kāi)關(guān)）
- 大震蕩功率: 30KW
- 大輸入功率: 15KW
- 輸出頻率: 30 - 100kHz
- 占空比: 80%
- 感應(yīng)線(xiàn)圈: 220mm(ID) x 65mm(H)
- 空氣冷卻: 后風(fēng)扇
- 保護(hù)系統(tǒng)：帶有自動(dòng)水壓、過(guò)熱、功率過(guò)高保護(hù)
- 耐火材料：配有多塊采用氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，和防止熱量輻射
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溫度控制器 & 熱電偶
? | - 工作電壓: 208~240V AC, 單相
- 采用PID方式控溫 ，可設(shè)置30段升降溫程序，控制升溫和降溫
- 設(shè)備帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能
- 控溫精度+/- 3 ?C
- 熱電偶: C type, 1/4'' O.D x 10'' Long
- 連續(xù)工作溫度范圍: 1000?C~2000?C
- 大升溫速率：
***4?C/second(1000?C-1200?C)
***3?C/second(1200?C~1500?C)
***1?C~2?C/second (1500?C~2000?C)
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石墨坩堝和耐火磚 | - 高純石墨坩堝: 114 mmOD x 100 mm ID x 142mm Height,
- 大容量：樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2
- Max. mleting capability: 4 kg for Iron (tested)
- 保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）
- 注意: 石墨坩堝是易耗件
 
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密封法蘭
& 石英管 | - 兩端開(kāi)口的石英管尺寸：?216?mm(OD) x 208 mm(ID) x 500mm(L)
- 頂部法蘭: 采用不銹鋼折疊式法蘭，帶有一1/4"的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥
- 底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過(guò)波紋管與真空泵相連接
- 儀器中配有KF25擋板閥和KF25*1000mm的波紋管，以便與真空泵相連接
  
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防腐型真空計(jì)
| 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到3.8x10E-5 torr |
流量計(jì)
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水冷機(jī)
| - 溫度范圍 5 - 30°C
- 水流速: > 16 L/m
- 水箱容積: 12Liters 采用不銹鋼制作
- 水壓≥0.1MPa，流量≥5L/Min
- 注: 建議采用特定的冷卻以達(dá)到好冷卻效果
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真空泵
| - 儀器中配有一2L/S的雙極旋片機(jī)械泵，使管內(nèi)的真空度達(dá)到10e-2 torr
- 工作電壓AC 208 -240V, 單相
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移動(dòng)爐架
| - 結(jié)構(gòu): 鋼框架結(jié)構(gòu)
- 800mm×600mm的移動(dòng)爐架可方便移動(dòng)電感應(yīng)加熱器和帶有法蘭的石英管
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| 注意 | 此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可
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外形尺寸
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質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)相關(guān)耗材除外，如爐管密封圈等易耗件 |
