一、集成電路制造行業(yè)廢氣簡述

集成電路制造行業(yè)廢氣主要成分是揮發(fā)性有機(jī)物VOCs。集成電路芯片生產(chǎn)過程中使用大量的有機(jī)溶劑如清洗劑、光刻膠、剝離液、稀釋液等，從而產(chǎn)生一定量的VOCs廢氣，不僅造成大氣污染，還可能會導(dǎo)致廠區(qū)環(huán)境異味，因此進(jìn)行VOCs廢氣治理，實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放十分必要。

集成電路制造行業(yè)VOCs主要來源

集成電路制造行業(yè)VOCs來源主要集中在揮發(fā)性有機(jī)溶劑的使用、載運(yùn)、儲存。載運(yùn)過程包括有機(jī)溶劑的原料載入及廢有機(jī)溶劑的載出過程，溶劑儲罐與槽車之間的接口等處有機(jī)溶劑揮發(fā)。有機(jī)溶劑的儲存主要包括儲罐儲存，化學(xué)品桶裝儲存及瓶裝儲存。有機(jī)溶劑儲罐的排氣、儲存過程中的不密封或意外泄露也是VOCs的來源。

集成電路行業(yè)VOCs主要成分

集成電路行業(yè)有機(jī)廢氣VOC的主要成分為異丙醇和丙酮，此兩項(xiàng)物質(zhì)占比達(dá)VOCs主要成分80%-100 %，其中異丙醇占比55%以上，丙酮占比5%-34%。

二、集成電路行業(yè)VOCs廢氣處理方法

活性炭吸附法

吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來處理有機(jī)廢氣，這樣就能夠通過化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達(dá)到凈化有機(jī)廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機(jī)廢氣凈化處理。

活性炭凈化率高，實(shí)用，操作簡單，投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費(fèi)用，替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)人員進(jìn)行危廢處理，運(yùn)行費(fèi)用高。