多樣動態(tài)氣體配比設備SSGM:組成主要是由:高精度質量流量控制器、壓力傳感器、單向閥、過濾器、截止閥、觸摸屏、控制單元、機箱等結合本公司*的運算方法,綜合得出。SSGM系列的動態(tài)配氣裝置具有運行穩(wěn)定、調節(jié)快速、結構緊湊、操作簡單,無易損件,維護成本低等特點。
多樣動態(tài)氣體配比設備SSGM:產品的主要特點有:
1、采用實時監(jiān)測及記錄,動態(tài)配氣精度高,穩(wěn)定性好。
2、操作方便,升級空間大,可根據需求,配置溫濕度控制模塊、被測氣體精密監(jiān)測模塊以及通道數目的擴展等。
3、用途范圍廣,可用于氣體傳感器等方面的研究,適用于半導體、集成電路工藝、特種材料學科、環(huán)境保護、工業(yè)衛(wèi)生、科研、教學、化工、石化等部門的定量配氣。