產(chǎn)品簡介
橢偏儀是一種利用光的偏振態(tài)變化來進(jìn)行薄膜性質(zhì)表征的儀器，主要用來測量薄膜材料的厚度、NK參數(shù)等性質(zhì)。橢偏儀的主要原理是將自然光（紫外光、可見光以及紅外光）變成*偏振光后通過一定角度入射到樣品上，偏振光進(jìn)入樣品介質(zhì)后會反射回到橢偏儀檢偏器內(nèi)，由于樣品介質(zhì)會對偏振光的偏振態(tài)發(fā)生改變，而這種改變會被橢偏儀測量，橢偏儀就是利用這個(gè)介質(zhì)對偏振光性質(zhì)改變的原理來表征介質(zhì)的性質(zhì)的
SE500型號采用雙光譜儀耦合實(shí)現(xiàn)250-1700nm超長波段的探測，可實(shí)現(xiàn)對材料紫外、可見和紅外波段的全覆蓋測量研究，同時(shí)可搭配自動平臺掃描、自動變角、微光斑探測以及平臺加熱等功能滿足不同應(yīng)用需求。
產(chǎn)品相冊
設(shè)備配置
探測器：陣列探測器,
光源：高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源
軟件：TFProbe 3.3版本的軟件
入射角度變化：手動調(diào)節(jié)
測量種類：薄膜厚度、折射率和消光系數(shù)以及多層膜堆疊
計(jì)算機(jī)：Intel雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器
電源：110–240V AC/50-60Hz，6A
保質(zhì)期
保修：一年的整機(jī)及零部件保修
技術(shù)參數(shù)
波長范圍：250nm到1700 nm
光斑尺寸：1mm至5mm可變
樣品尺寸：直徑可達(dá)200mm
測量厚度范圍*：〜30μm
測量時(shí)間：約1/位置點(diǎn)
入射角范圍：20到90度，5度間隔
重復(fù)性誤差*：小于1 Ǻ
