FM860現(xiàn)場顯示露點儀在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而FM860可以滿足市場需求推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案,用來在線測量露點值。
測量范圍 | 露點:-110…+20℃td 微水:1…2000PPM |
測量精度 | 露點:±2℃Td |
耐壓范圍 | 40bar |
測量氣體 | 非強腐蝕氣體 |
環(huán)境溫度 | -40…+65℃ |
響應(yīng)速度 | T95 約1 分鐘(從干到濕) |
輸出信號 | 4-20mA/RS485/USB接口 |
繼電器報警 | 2路報警 |
工業(yè)連接 | 5/8" - 18 UNF |
供電電源 | AC220V |
保護等級 | IP65(NEMA4) |
外殼材料 | 316不銹鋼 |
重復(fù)性 | <0.1℃ Td |
EMC | EMC 執(zhí)行04/108/EG |
流量范圍 | 0.2~5 升/分 0~10 米/秒 |