技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 特征 |
頻率調(diào)整范圍 | 13.56MHz±5% |
頻率穩(wěn)定度 | ±50ppm |
輸出功率調(diào)節(jié)范圍 | 2W-3000W連續(xù)可調(diào)，步進(jìn)0.1W |
射頻開關(guān)幅度過沖持續(xù)時(shí)間 | 0.1mS |
射頻開關(guān)幅度過沖 | ±1% |
脈沖信號(hào)重頻 | 10Hz-100kHz，步進(jìn)1Hz；脈寬5μS-90mS |
脈沖信號(hào)占空比 | 5%-95%，步進(jìn)1%可調(diào)；邊沿＜ 2μS |
整機(jī)效率（額定功率下） | 60% |
諧波抑制 | ≤-50dBc |
雜散抑制 | ≤-50dBc |
幅度穩(wěn)定度 | ≤±0.1% |
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- 應(yīng)用范圍
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半導(dǎo)體工業(yè)方面如等離子體刻膠、等離子蝕刻 、 RIE、平行板、ICP、射頻濺射、CVD和PVC等系統(tǒng)、等離子清洗、PECVD、板條射頻激光源等
- 外形尺寸
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