HVA 真空閘閥 81000系列
美國 HVA 真空閘閥 81000 系列，閥門主體材質(zhì)鋁，適用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤溫度不超過 150°C 的高真空應(yīng)用。HVA 真空閘閥 81000系列專為系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)研發(fā)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、LED / FPD、涂料、鍍膜和生物制藥。
HVA 真空閘閥 81000系列 產(chǎn)品性能：
1.真空爐中一體釬焊完成，確保了閥門的大完整性，有效消除了虛漏和缺陷部分，避免閥體變形。
2.比同等口徑的不銹鋼閥門氫氣脫氣率低
3.適用壽命長： 400,000啟閉次數(shù)
4.高性能 PEEK 組件
HVA 真空閘閥 81000系列 技術(shù)參數(shù)：
閥門材質(zhì)： | |
閥門主體 | 6061-T6鋁 |
軸封 | [DN40-80] 鋁; [DN100-500] 304SS |
支架 | 6061-T6/ PEEK |
密封件 | 氟橡膠 |
閥門密封方式： | |
高真空 | 氟橡膠 |
漏率 | <2×10-9 mbar l/s |
差壓關(guān)閉 | 1 bar |
真空： | |
壓力范圍 | 高真空1x10-7 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差壓關(guān)閉 | 1.6 bar (任意位置) |
開啟前大壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度（不含電磁閥）： | |
閥門主體 | 120 °c |
驅(qū)動(dòng)方式 | 80 °c |
使用壽命：400,000啟閉次數(shù) | |
公稱通徑：DN100-320 mm | |
美國 HVA 真空閥門-美國大真空閥門制造商。美國HVA真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造。主營高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū)總代理商。
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