流量測量準確度 | ±1%F.S(可按要求提供更高值) |
流量測量線性 | ±0.5%F.S |
流量測量重復性 | ±0.2%F.S |
零氣流量 | 5或10(標配)或20slm |
標氣流量 | 50或100(標配)或200slm |
零氣產(chǎn)生 | 不含NO—NOX —O3—SO2—CO和HC的零氣 |
zui大輸出流量 | 可達到20L/min(可按要求提供更大值) |
輸出壓力 | (0.1-0.3)Mpa |
露點 | 0℃ |
零氣純度 | SO2≤1ppb NO≤1PPbNO2≤1PPbO3≤1PPb CO(選項) ≤0.05ppm HC(選項) ≤0.05ppm |
選配 | 一氧化碳和碳氫化合物滌除器 |