低溫等離子凈化設(shè)備又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設(shè)計(jì)概念下，分三個(gè)即獨(dú)立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個(gè)激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實(shí)際使用中實(shí)現(xiàn)廢氣的處理是極為復(fù)雜的過程，整個(gè)過程在不到1秒的時(shí)間內(nèi)完成。從理論到模型都能探究到相關(guān)的機(jī)理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時(shí)間內(nèi)躍遷到足以使其電離的Em級(jí)，廢氣分子鍵充分?jǐn)嗔?，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質(zhì)量小，被進(jìn)一步躍遷，與反應(yīng)堆內(nèi)的氧離子氫氧根離子發(fā)生反應(yīng)，生成無味的CO2、H2O以及其它高價(jià)化合物。同時(shí)由于反應(yīng)堆內(nèi)臭氧以及紫外線的作用，去除不同范疇的廢氣化合物，實(shí)地較為廣譜的去除空間。

低溫等離子凈化設(shè)備優(yōu)點(diǎn)：占地面積??；反應(yīng)，等離子廢氣凈化器處理效果好，等離子廢氣凈化器可將惡臭物質(zhì)分解；啟動(dòng)、停止，即開即用，不受氣溫影響，操作簡單；反應(yīng)過程中只需用電，不用投加其他輔助藥劑和填料。

低溫等離子凈化設(shè)備處理技術(shù)是一個(gè)集物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和環(huán)境于一體的交叉綜合性技術(shù)，該技術(shù)顯著特點(diǎn)是對(duì)污染物兼具物理效應(yīng)、化學(xué)效應(yīng)和生物效應(yīng)，且有能耗低、無二次污染等明顯優(yōu)點(diǎn)。其凈化作用機(jī)理包含兩個(gè)方面：

一是在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間足夠打開一些氣體分子的化學(xué)能，使之分解為單質(zhì)原子或分子；

二是等離子體中包含大量的電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結(jié)合，在電場(chǎng)作用下，使臭氣分子處于激發(fā)態(tài)。當(dāng)臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時(shí)，臭氣分子的化學(xué)鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得氣體分子。與氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，終生成產(chǎn)物。

低溫等離子體中能量的傳遞大致為：電子從電場(chǎng)中能量，通過碰撞將能量轉(zhuǎn)化為分子的內(nèi)能和動(dòng)能，獲得能量的分子被激發(fā)，與此同時(shí)，部分分子被電離，這些活化了的粒子相互碰撞從而引起一系列復(fù)雜的物理化學(xué)反應(yīng)。因等離子體內(nèi)富含的大量活性粒子如離子、電子、激發(fā)態(tài)的原子和分子及自由基等，從而為等離子體技術(shù)通過化學(xué)反應(yīng)處理異味物質(zhì)提供了條件。它是基于放電物理、放電化學(xué)、反應(yīng)工程學(xué)的學(xué)科之上的交叉學(xué)科。近幾十年來，有關(guān)等離子體技術(shù)的研究非?；钴S，為合成新物質(zhì)、新材料及環(huán)境污染治理等提供了一種、新方法和新工藝。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。