等離子去膠機(jī)是深圳金徠針對小體積產(chǎn)品,小批量生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室晶圓處理設(shè)計(jì),適用于晶圓級和3D封裝應(yīng)用的理想設(shè)備。等離子應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、有機(jī)污染去除等。
產(chǎn)品規(guī)格
型號 | JL-RR05 | JL-RR10 | JL-RR15 |
高頻輸出功率 | 500W | 500W | 1000W |
頻率 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
檢測功能 | 氣壓檢測、 門檢測 | 氣壓檢測、 門檢測 | 氣壓檢測、 門檢測 |
真空泵 | 干式真空泵 | 干式真空泵 | 干式真空泵 |
氣體控制 | 高精度質(zhì)量流量計(jì)(MFM) | 高精度質(zhì)量流量計(jì)(MFM) | 高精度質(zhì)量流量計(jì)(MFM) |
質(zhì)量流量計(jì)精度 | +/-0.2% F.S | +/-0.2% F.S | +/-0.2% F.S |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 |
反應(yīng)腔 | 石英 D160× 220 mm | 石英 D240× 260 mm | 石英 D240× 460 mm |
反應(yīng)氣體 | 3 路系統(tǒng)(可選) | 3 路系統(tǒng)(可選) | 3 路系統(tǒng)(可選) |
氣體流量 | 0~300SCCM | 0~300SCCM | 0~500SCCM |
外形尺寸 | 438× 520× 760mm | 438× 520× 760mm | 650× 650× 650mm |
重量 | 約 60kg | 約 60kg | 約 70kg |
輸入電源 | 單相 220V, 50/60Hz 8A | 單相 220V, 50/60Hz 8A | 單相 220V, 50/60Hz 8A |
應(yīng)用范圍
? 去除光刻膠
? 晶圓打膠
? 濕法刻蝕前的晶圓清潔
? 去除 SU-8
? 清潔和表面活化
? 化學(xué)微量分析中的低溫材料灰化
? 過濾器和濾膜的清潔