低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。
二、等離子廢氣處理設備工作原理
等離子處理設備又稱低溫等離子廢氣凈化器。
本工藝在電催化總的設計概念下，分兩個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)。
低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿游镔|，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
過程一：高能電子的直接轟擊
過程二：O原子或臭氧的氧化 O2+e→2O-
過程三：OH自由基的氧化 H2O+e→OH+H H2O+O→2OH H+O2→OH+O
過程四：分子碎片+氧氣的反應
四、低溫等離子廢氣處理設備技術優(yōu)勢:
1.介質阻擋放電產生電子能量高，低溫等離子體密度大，可達到常用等離子技術（電暈放電）的1500倍，幾乎可以擊碎所有有機廢氣的分子鏈。
2.技術反應速度快，氣體通過反應區(qū)的流速達到3-15米/秒，也可達到很好的處理效果。
3.自動化程度高，設備啟動、停止十分迅速、隨用隨開，對于部分不連續(xù)產生廢氣的收集點，可以循環(huán)啟停節(jié)約成本。
五、低溫等離子廢氣處理設備產品特點：
1.凈化效率高，性能穩(wěn)定。
2.設備風阻低≤300Pa,無需加人抽風設備，投資低
3.運行成本低，耗電小。
4.維護保養(yǎng)簡便，費用低，每使用90天為保養(yǎng)清洗期。
5.可靠，設備采用敞開式排放形式，不設封閉高壓，高溫區(qū)。
6.無需活性炭材料，不存在飽和脫附再生原料，無二次污染。
7.使用壽命長，安裝簡便，操作過程實行全自動化。
8.處理風量5000-50000m3/h以上（可根據(jù)客戶實際要求尺寸訂做)
六、低溫等離子廢氣處理設備適用范圍：
主要運用于化工業(yè)、造紙業(yè)、制藥業(yè)、食品業(yè)、輪胎及橡膠生產廠、汽車生產、油漆噴涂、污水處理、污泥廢氣處理、垃圾處理廢氣、皮革業(yè)、印刷廠、香料生產業(yè)、飼料及飼養(yǎng)場、農藥生產以及煙草業(yè)等等多個領域的異味和惡臭處理，涉及氣體物質多達900多種，主要包括：硫化氫、氨氮類、硫醇類、硫醚類、吲哚類、苯類、硝基類、烴類以及醛類等類別。
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