電子超純水設(shè)備的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進行不同組合搭配衍生而來。現(xiàn)將他們的優(yōu)缺點分別列于下面：
種采用傳統(tǒng)的離子交換樹脂其優(yōu)點在于初次投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞。
第二種采用反滲透+離子交換設(shè)備，其特點為初次投資比采用離子交換樹脂方式要稍高，但離子再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。是比較經(jīng)濟與流行的一種工藝。
第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子裝置，這是目前制取超純水，的的工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初次投資相對以上兩種方式過于昂貴。
電子工業(yè)用超純水edi設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;
3、實驗室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品;
EDI原理
EDI 利用混和離子交換樹脂吸附水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過陰陽離子膜而被去除。
電子超純水設(shè)備的工作原理是兩個淡水室和一個濃水室離子交換過程。面向正極的陰離子膜與面向負極的陽離子膜之間構(gòu)成濃水室;面向負極的陰離子膜與面向正極的陽離子膜之間組成淡水室。淡水室和濃水室中間夾著陰、陽離子樹脂，當水從淡水室和濃水室流過時，離子交換樹脂就吸附了水中的離子，在CDI 模塊兩端的電極提供了橫向的直流電場，直流電場驅(qū)動離子交換樹脂所吸附的離子穿過離子膜，其結(jié)果是降低了淡水室中水的離子濃度和增加了濃水室中水的離子濃度，從而使得淡水室中水的純度越來越高。 CDI 模塊就是由許多這樣的基本單元組合在一起并聯(lián)工作的。
