低溫等離子體廢氣凈化技術是目前zui有效的廢氣凈化技術，由于安全性能問題，只作為一種指導下的研究，光催化氧化廢氣凈化技術應用非常廣泛，由于單位能量相對較小，處理需較長時間，所以設備體積非常大，投資比較高。碳放電高能離子技術突破歐洲傳統(tǒng)“花冠放電”高能離子技術，采用碳作為介質放電材料，高能離子濃度由160萬提高到10000萬，電源形式從模塊變化為高頻電源，提升電源輸出的穩(wěn)定性。
碳放電是將碳絕緣介質插入放電空間的一種氣體放電。介質可以覆蓋在電極上,也可以懸掛在放電空間里，當在放電電極間施加一定頻率（50 MHz 至幾K赫茲） 的3Kv的交流電壓時,電極間的氣體就會被擊穿產生碳阻擋氣體放電。 在大氣壓或高于大氣壓條件下,間隙內的氣體放電由許多在時間上和空間上隨機分布的微放電構成,這些微放電的持續(xù)時間很短,一般為納秒量級[20] 。 由實驗觀察,微放電通常呈現一些相當均勻的圓柱型微通道,每一個微通道就是一個強烈的流光放電擊穿過程,帶電粒子的輸運過程及等離子體化學反應就發(fā)生在這些微放電通道內. 因此一些研究者將微放電作為碳等離子體的主要特性,并通過研究微放電的性質來研究碳等離子體的整體特性。從碳的物理過程來看,電源電壓通過電介質電容耦合到放電間隙形成電場,空間電子在這一電場作用下獲得能量,與周圍氣體發(fā)生非彈性碰撞,電子從外加電場取得能量轉移給氣體分子，氣體被激勵后,發(fā)生電子雪崩,出現了相當數量的空間電荷。它們聚集在雪崩頭部,形成本征電,再與外加電場疊加起來形成很高的局部電場,在新形成的局部電場作用下,雪崩中的電子得到進一步加速,使放電間隙的電子形成空間電荷的速度比電子遷移速度更快,形成了往返兩個電場波,電場波向陰極方向返回時更強,這樣一個導電通道能非?？斓赝ㄟ^放電間隙形成大量微細絲狀的脈沖流光微放電. 它們很均勻、漫散和穩(wěn)定,彼此孤立地隨機發(fā)生在不同地點，當微放電通道形成以后,空間電荷就在通道內輸送累積在電介質表面產生反向電場而使放電熄滅,形成微放電脈沖。在一定范圍內,微放電的數量隨供電電壓及頻率的增加而增加. 可見碳介質的分布電容對于微放電的形成起著十分重要的鎮(zhèn)流作用. 一方面,由于電介質的存在,有效地限制了帶電粒子的運動,防止了放電電流的無限制增長,從而避免了在放電間隙內形成火花放電或弧光放電;另一方面,電介質的存在可以使微放電均勻穩(wěn)定地分布在整個放電空間內。
裝置由NBL離子管 ,l離子發(fā)射控制器，電源等組成，NBL離子管封入的激發(fā)氣體經應該配比，金屬填充物采用多種貴金屬的特殊合金材料制成，在氣體電子的激發(fā)中，貴金屬分子大量失去電子，使離子管外側聚集高濃度負離子，監(jiān)測表明，在離子管1m范圍負離子濃度高達160萬次/cm3，達到*水平。
微波的波長1nm~1m，它不能使分子離子化，但是它能提高分子運動的能量，增加單位時間內分子的碰撞次數，同時在微波場的作用下能防止載流子復位，提高保持離子的濃度和活性。進一步撕裂和扭轉經高能離子處理的廢氣。
無極燈輻射的紫外線劑量高達65mw/cm2，光子的能級大于7.8eV，能迅速撕裂硫化氫，氨等鍵能低且具極性的分子，檢測結果顯示，經高能離子凈化，通過微波場加速，無極燈紫外線輔助，在距離NBL離子管3m的范圍離子濃度超過100萬次/cm3。46mg/m3的硫化氫處理后的濃度小于0.1,187mg/m3的硫化氫處理后濃度小于0.8，低濃度氨不能檢測到。
高能離子微波光催化氧化成套設備已經在青田污水處理廠，建德污水處理廠，平陽污水處理廠等安裝使用，是目前理想的市政工程廢氣凈化成套設備。
