拔插式四探針頭技術(shù)指標(biāo)
1、 游移率
*……………<0.3%
2、 間距偏差
*…………… <2%
A*………… <2%
3、 zui大針與導(dǎo)孔間隙:0.006mm
4、 探針材料:進(jìn)口硬質(zhì)合金或高速鋼
5、 探針壓力 標(biāo)準(zhǔn)壓力:4—10N(4根針總壓力)
1牛頓(N)=101.97克
6、 針尖壓痕直徑:25—100μm、100—250μm(簿層)
7、 500V絕緣電阻:>1000MΩ
1、 測(cè)量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率,測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻。
2、 測(cè)量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。