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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

自動(dòng)化磁控濺射鍍膜機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2022/8/25 14:04:02
  • 訪問次數(shù)1026
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公司名稱(現(xiàn)用名):北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
公司名稱(曾用名):北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司
覆蓋區(qū)域:北京天津、河北

    北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司,原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司,創(chuàng)立于2013年,位于中國·首都北京密云經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),主體經(jīng)營分為真空配件銷售真空設(shè)備定制、淺藍(lán)納米科技三個(gè)部分,是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司,公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師,具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),同時(shí)還與北京工業(yè)大學(xué)聯(lián)合研發(fā)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),與北京交通大學(xué)聯(lián)合研發(fā)原子層沉積系統(tǒng),滿足高校、研究所的教學(xué)、科研使用,同時(shí)減少相關(guān)進(jìn)口設(shè)備的*,并力爭(zhēng)創(chuàng)造外匯,打出中國創(chuàng)造的!  

    我們的客戶遍布北京各高校研究院所、電力試驗(yàn)所、各級(jí)的材料、物理、化學(xué)、納米等研究領(lǐng)域*的實(shí)驗(yàn)室,期待您就是我們的下一位客戶、朋友!

    您的滿意微笑是我們一直努力追求經(jīng)營目標(biāo)!

技術(shù)創(chuàng)新、業(yè)務(wù)專業(yè)、服務(wù)誠信是我們一直遵循的經(jīng)營理念!

 

我們熱誠歡迎國內(nèi)外*的儀器制造商及科學(xué)工作者與我們聯(lián)系開展各層面的合作,打造成*的真空系統(tǒng)產(chǎn)品、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和原子層沉積系統(tǒng)供應(yīng)商。

ALD設(shè)備,PECVD設(shè)備
此款全自動(dòng)磁控濺射鍍膜機(jī)具備以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn):  1、目前高校包括研究所的實(shí)驗(yàn)室面積都比較緊張,所以此款小型磁控濺射鍍膜機(jī)緊湊的設(shè)計(jì)更為合適;  2、配置3個(gè)3英寸可調(diào)節(jié)高度及角度的電控?fù)醢宕趴貫R射靶(可選擇高磁靶可鍍鐵、鎳等磁性材料);  3、配置1個(gè)4英寸可旋轉(zhuǎn)、可加熱、可加裝偏壓電源的樣品臺(tái);  4、配置離子活化裝置;  5、配置內(nèi)隔板便于清理和帶擋板的觀察窗;  6、配置腔室烘烤加熱裝置;
自動(dòng)化磁控濺射鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息

  此款全自動(dòng)磁控濺射鍍膜機(jī)具備以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn):

  1、目前高校包括研究所的實(shí)驗(yàn)室面積都比較緊張,所以此款小型磁控濺射鍍膜機(jī)緊湊的設(shè)計(jì)更為合適;

  2、配置3個(gè)3英寸可調(diào)節(jié)高度及角度的電控?fù)醢宕趴貫R射靶(可選擇高磁靶可鍍鐵、鎳等磁性材料);

  3、配置1個(gè)4英寸可旋轉(zhuǎn)、可加熱、可加裝偏壓電源的樣品臺(tái);

  4、配置離子活化裝置;

  5、配置內(nèi)隔板便于清理和帶擋板的觀察窗;

  6、配置腔室烘烤加熱裝置;

  7、配置高真空獲得及測(cè)量裝置;

  8、配置膜厚實(shí)時(shí)監(jiān)控測(cè)量裝置;

  9、配置3路質(zhì)量流量計(jì)充氣系統(tǒng)。

  1.設(shè)備簡(jiǎn)介

  小型磁控濺射鍍膜儀,主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊易于操作,對(duì)實(shí)驗(yàn)室供電要求低;該系列設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或者國內(nèi)的配置,從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性;另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運(yùn)行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。 目前該系列有基本型、旗艦型、豪華型、尊享型4種不同配置可供選擇,可以根據(jù)客戶的不同需求進(jìn)行配置,比較靈活;標(biāo)配2只Φ2英寸永磁靶,一臺(tái)500W直流濺射電源,主要用來開發(fā)納米級(jí)單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜以及絕緣膜等。

  2.設(shè)備主要優(yōu)勢(shì)

  2.1實(shí)用性:設(shè)備集成度高,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,可以滿足客戶實(shí)驗(yàn)室空間不足的苛刻條件;通過更換設(shè)備上下法蘭可以實(shí)現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換,實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用;

  2.2方便性:設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接線及安裝調(diào)試簡(jiǎn)單,既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔;

  2.3高性價(jià)比:設(shè)備主要零部件采用進(jìn)口或國內(nèi)品牌,以國產(chǎn)設(shè)備的價(jià)格擁有進(jìn)口設(shè)備的配置,從而保證了設(shè)備的質(zhì)量及性能;

  2.4安全性:獨(dú)立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)在傳統(tǒng)操作系統(tǒng)的基礎(chǔ)上新具備了漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能,保證了設(shè)備的使用安全性能;

  3.主要技術(shù)參數(shù)

  3.1 腔室尺寸:Ф246×228mm,1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì),氬弧焊接;

  3.2 樣品臺(tái)尺寸:Ф75mm,高度:60~120mm可調(diào),旋轉(zhuǎn):0-20r/min可調(diào);

  3.3 真空系統(tǒng):機(jī)械泵(TRP-12,3L/s)+國產(chǎn)分子泵(可選進(jìn)口分子泵);GDC-25b電磁擋板閥,DN25mm 限流閥;

  3.4 極限真空:8.0×10-4Pa;

  3.5 真空抽速:大氣~8×10-4Pa ≤ 60min;

  3.6 真空測(cè)量:全量程復(fù)合真空計(jì),測(cè)量范圍:105Pa~10-5Pa;

  3.7 磁控靶:Φ2英寸2只(含靶擋板),兼容直流電源和射頻電源;

  3.8 濺射電源:直流和射頻可選;

  3.9 質(zhì)量流量計(jì):20sccm、50sccm質(zhì)量流量控制器各一套;

  3.10控制方式:PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng),具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能;

  3.11設(shè)備外形:L60cm×W60cm×H96cm機(jī)電一體化機(jī)架,預(yù)留1個(gè)KF40法蘭接口;

  3.12 設(shè)備供電總功率≤2KW,220V,單相三線制(一火一零一地);

  3.13 冷卻循環(huán)系統(tǒng):水壓0.2~0.4MPa,水溫10~25℃,給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水

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