Etelux伊特克斯Lab2000多工位鍍膜機手套箱2000036
產(chǎn)品描述:
Lab2000 Auto系列是一種多功能鍍膜設備(熱蒸發(fā)/熱阻蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)可選),設計用于滿足科研工作者和電子顯微學家的需求。
可配備各種真空系統(tǒng)、真空腔室和標準化工藝附件,提供一系列實驗技術以滿足現(xiàn)代化實驗室的需要??蛇x擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室,也可以配置通用的前開門式不銹鋼箱式腔室。腔室具有額外的高度與寬度,適用于安裝較多的工藝附件。
客戶可選擇的模塊化工藝附件,包括熱阻蒸發(fā)源及其控制電源、電子束蒸發(fā)源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監(jiān)控儀等。
真空系統(tǒng)由觸屏PLC控制和監(jiān)控,易于操作;高真空泵選擇包括擴散泵、渦輪分子泵、冷凝泵,并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時保護泵和樣品。
產(chǎn)品特點:
觸屏PLC自動控制真空系統(tǒng)
多種可選薄膜沉積源和電源
多種可選樣品夾具
多種可選真空腔室
智能高真空閥門保護泵及樣品
緊湊型設計,最小化空間占用
無需壓縮空氣
完整的安全使用互鎖保護
主要應用:
抗反射涂層
半導體
鏡面
介質(zhì)層
有機物/聚合物和OLED
光電子研究
復合物半導體
太陽能電池
納米技術