產品介紹INTRODUCTION
- 適合做多層薄膜的深度分析。
- 很好的、耐用的、普通目的的二次離子質譜儀。
- 方便使用。
- 樣品可以手動轉換,由于分析速度快所以每天可以分析一定數量的樣品。
- 我們的系統可配置快速原子槍,使我們可以輕松處理絕緣的樣品。
- 我們還可以做元素成像(就象化學地圖)和混合模式掃描,自動測量正、負和中性粒子。
- 我們的系統是典型的超高真空工作臺,很容易滿足很多其它分析的使用。
- 結構緊湊,但不損失性能。真正的高性價比。
特點FEATURES
- 高靈敏度脈沖離子計數檢測器,7個數量級的動態(tài)范圍
- SIMS 成像,分辨率在微米以下
- 光柵控制,增強深度分析能力
- 所有能量范圍內,離子行程的最小擾動,及恒定離子傳輸
- 差式泵3級過濾四極桿,質量數范圍至1000amu
- 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數檢測器
- Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護
- 通過RS232、RS485或Ethernet LAN,軟件 MASsoft控制
規(guī)格參數SPECIFICATION
- 質量數范圍:300,510或1000amu
- 分辨率:5%的谷,兩個相連的等高峰。
- 檢測器:離子計數檢測器,正、負離子檢測
- 檢測限:1:10E7
- 質量過濾器:三級過濾四極桿(9mm桿)
- 主離子槍: A,氧離子或其它氣體,能量到5KeV;B,Ga離子槍,能量25KeV(選配)
- 空間分辨率:A:100~150um;B: 50nm
- 取樣深度:2個單分子層(靜態(tài));不受限制(動態(tài))