一、概述
我公司生產(chǎn)的不銹鋼硅烷燃燒塔，主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷尾氣凈化。該設(shè)備的成功應(yīng)用，主要是我公司技術(shù)人員對(duì)國(guó)外半導(dǎo)體行業(yè)凈化硅烷尾氣技術(shù)方面的消化吸收，來滿足國(guó)內(nèi)太陽能、光能行業(yè)，半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷氣體凈化。
二、工作原理
根據(jù)硅烷尾氣與空氣接觸而自燃的特點(diǎn)，生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生的硅烷尾氣由管道進(jìn)入YZR 型不銹鋼硅烷燃燒筒進(jìn)行燃燒處理，經(jīng)過燃燒筒處理的尾氣再由管道進(jìn)入YZR 型不銹鋼硅烷燃燒塔進(jìn)行二次燃燒處理，燃燒處理后的氣體進(jìn)入燃燒塔的噴淋室進(jìn)行一次噴淋處理再穿過填料層進(jìn)入第二次噴霧處理，使尾氣與中和循環(huán)液進(jìn)行充分的逆向接觸反應(yīng)，然后通過脫液處理后由抽風(fēng)機(jī)排出。
三、產(chǎn)品外形
四、流程示意
