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環(huán)保APP正式上線

快速退火爐

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱河南成儀實驗室設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號RTP1100
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/9/1 16:45:18
  • 訪問次數(shù)203
產(chǎn)品標簽:

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成儀的開始源于2009年,由名不見經(jīng)傳的小團隊,逐步發(fā)展成為一個正規(guī)化的中型企業(yè),成儀始終以創(chuàng)造用戶價值為目標,一路創(chuàng)業(yè)創(chuàng)新,在2014年掛牌成立了成儀實驗室設(shè)備有限公司,專注于研發(fā)銷售實驗室熱處理設(shè)備。作為集研發(fā)、生產(chǎn)、貿(mào)易于一體迅速發(fā)展的高科技公司,成儀公司始終致力于為國內(nèi)材料研究事業(yè)提供技術(shù)產(chǎn)品。公司成立之目的就是為了引進國外爐業(yè)設(shè)計技術(shù),整合國內(nèi)行業(yè)資源,根據(jù)用戶實際條件和需求提供與之匹配的熱處理相關(guān)設(shè)備。無論有技術(shù)要求還是經(jīng)費有限之用戶都能用上技術(shù)*的實驗電爐。公司覆蓋專業(yè)包括材料學(xué)、化學(xué)、物理、電子、熱力學(xué)等;目前已通過*和CE認證;我公司主要產(chǎn)品包括實驗室管式爐、箱式爐、真空氣氛爐、LED熒光粉燒結(jié)爐、氧化鋯義齒燒結(jié)爐等,所研發(fā)銷售的實驗室電爐設(shè)備均為國內(nèi)的技術(shù)產(chǎn)品,目前已將產(chǎn)品出口到美國、韓國及東南亞和中東等地。用24小時全天候的售后服務(wù)為每個用戶提供技術(shù)支持和質(zhì)量保障
真空管式電阻爐
型號:RTP1100用途:極速退火與鍍膜規(guī)格:Φ100*200特點:快速升溫快速降溫
快速退火爐 產(chǎn)品信息

快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鑒了制造工藝,在管式爐的基礎(chǔ)上自主研發(fā)而成,不但擁有極快的升溫速率100℃/S,而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍,降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝,以至于達到如此快的降溫速度。真正的極速升溫和極速降溫

    腔體采用了雙層石英管結(jié)構(gòu),外層管進氣,內(nèi)層管出氣,使得反應(yīng)氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。

  加熱燈管之所以能夠讓硅片快速升溫,是因為光源波長在0.3-4微米之間,石英管壁無法有效吸收這一波段的輻射,而晶片則正好相反。因此,晶片可以吸收輻射能量快速加熱,而此時石英管壁仍維持低溫,即所謂冷壁工藝。

 

應(yīng)用領(lǐng)域:

速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

石墨烯等氣象沉積,碳納米管等外延生長

快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

硅化 (Silicidation);

擴散 (Diffusion);

離子注入后退火 (Implant Annealing);

電極合金化 (Contact Alloying);

晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);

 

    主要特點:

極速升溫100℃/S,極速降溫100℃/S;

雙層爐管結(jié)構(gòu),氣氛與樣品接觸更均勻;

直接測量樣品表面溫度,測溫更精準;

爐膛根據(jù)設(shè)置可自動左右移動,可以滿足更多的實驗應(yīng)用;

真空度可達9.8×10-4Pa;

技術(shù)參數(shù):

主要技術(shù)指標

數(shù)據(jù)

產(chǎn)品型號

RTP1100

極限溫度

1200℃

額定溫度

1100℃

控溫精度

±1℃

溫場均勻性

±2℃

升溫速率

100℃/S

降溫速率

100℃/S

操控系統(tǒng)

智能模糊控制

操作界面

7英寸觸摸屏

加熱方式

短波紅外線加熱

加熱腔體結(jié)構(gòu)

雙層管

氣體流動方式

外管進氣,內(nèi)管出氣

擴充端口

  可擴充真空測控和FFC供氣

過載保護

  電流過大自動切斷主回路

超溫保護

  溫度出現(xiàn)過高時切斷主回路

傳感器類型

   S型單鉑銠

反應(yīng)腔室尺寸

   Φ100*200mm

式樣有效空間

3.5英寸

傳感器類型

9.8×10-4Pa

抽氣端口尺寸

KF16(或Φ8mm寶塔嘴)

供氣口尺寸

Φ6.35mm雙卡套(或Φ8mm寶塔嘴)

樣品冷卻方式風(fēng)冷

法蘭冷卻方式

水冷

功率15KW
額定電壓

   AC 380V,50Hz

外形凈尺寸

950*500*560

重量

約55KG





關(guān)鍵詞:傳感器
產(chǎn)品對比
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