KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機(jī)是由KJ-T1200開(kāi)啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成?？蛇m用于石墨烯生長(zhǎng)等。
主要功能和特點(diǎn)：
1、PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等；
2、真空系統(tǒng)由旋片真空泵和進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)組成，真空可達(dá)10Pa；
3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制；觸屏操作，操作簡(jiǎn)單方便。
4、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；管路采用世界卡套連接，不漏氣；
設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 石墨烯生長(zhǎng)爐PECVD設(shè)備(CE認(rèn)證) |
| 開(kāi)啟式滑軌管式爐部分 | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-S60LC-H2 |
| 爐管尺寸 | Φ60mmX1600mm |
| 加熱區(qū) | 300mm |
| 工作溫度 | 1100℃ |
| 溫度 | 1200℃ |
| 溫控方式 | K型熱電偶 |
| 控制方式 | 溫度控制系統(tǒng)采用觸屏操作，人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制 30 段升降溫程序； |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
| 升溫速率 | 0-20ºC/min ，建議10ºC/min |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
| 工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ |
| 加熱功率 | 3KW |
| 爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
| 密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好。 |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 滑軌結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)快速降溫 |
| 爐 管 | 石英爐管 |
| 真空系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 真空系統(tǒng) |
| 主要參數(shù) |
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| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 四路質(zhì)量流量計(jì) |
| 主要參數(shù) | 四通道精密質(zhì)量流量計(jì)：觸屏控制，數(shù)字顯示。流量范圍流量范圍： 1.MFC 1-MFC4：0-1000sccm可調(diào) 2.一個(gè)混氣罐 3.4個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體； 4.進(jìn)出氣口：4進(jìn)1出 流量控制：手動(dòng)旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié) 連接方式：雙卡套連接 |
| 等離子電源部分 | |
| 名稱 | 500W等離子電源 |
| 功率范圍 | 0-500W（連續(xù)可調(diào)） |
| 工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 工作模式 | 連續(xù)輸出 |
| 功率穩(wěn)定度 | ≤2W |
| 反射功率 | 70W |
| 電源保護(hù)設(shè)置 | DC過(guò)流保護(hù)，功放過(guò)溫保護(hù)，反射功率保護(hù) |
| 供電電壓/頻率 | 單相交流（187V-253V）50-60HZ |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
| 整機(jī)重量 | 13.5KG |
| 隨機(jī)贈(zèng)送 | 石英管1支、坩堝鉤、爐塞、密封圈、水冷機(jī)、硅膠管、內(nèi)六角扳手、說(shuō)明書(shū)、保修卡等 |
| 售后服務(wù) | 整機(jī)質(zhì)保一年，終身保修（加熱元件、密封圈等隨機(jī)贈(zèng)送配件不屬于質(zhì)保范圍） |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
