KJ-T1600 CVD 是一種管式爐，具有 80mm 直徑的氧化鋁管和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)。 它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴(kuò)散。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 3通道CVD設(shè)備 | |
| 型號(hào) | KJ-T1600 -3M | |
| 管式爐部分 | 顯示 | 液晶觸摸屏 |
| 溫度 | 1600℃ | |
| 工作溫度 | ≤1500℃ | |
| 升溫速率 | 0~10℃/min | |
| 溫區(qū) | 300mm | |
| 加熱元件 | MoSi2 | |
| 熱電偶 | B型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | 80x1000mm | |
| 材質(zhì)：氧化鋁管 | ||
| 塞磚 | 包括兩個(gè)纖維陶瓷塊，用于阻擋來自管內(nèi)的熱輻射（陶瓷塊必須在加熱前*插入爐腔）。 | |
| 溫度控制 | PID自動(dòng)控制 | |
| 真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 | |
| 電源 | 220V, 50 Hz, 單相6KW | |
| 質(zhì)量流量計(jì) （液晶觸摸屏） | 三臺(tái)精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 1：氣體流量范圍0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍0~200 sccm MFC 3：氣體流量范圍0~200 sccm （氣體流量范圍可根據(jù)您的要求） 底殼安裝1個(gè)氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝3個(gè)不銹鋼針閥，手動(dòng)控制3種氣體混合 | |
| 更多參數(shù)可按需定制 | ||
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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