KJ-CVD 是一種分體式管式爐，配備 60mm 直徑的石英管、真空泵和四通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)。 可混合1-6種氣體進(jìn)行CVD。
應(yīng)用范圍：
此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 1600 CVD 系統(tǒng) | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1600 CVD | |
| 部分：標(biāo)準(zhǔn)部分 | ||
| 管式爐 | 顯示 | LED |
| 爐體 | 分體式和上部可以打開 | |
| 溫度 | 1600℃ | |
| 工作溫度 | ≤1500℃ | |
| 升溫速率 | 0~10℃/min | |
| 溫區(qū) | 300mm | |
| 加熱元件 | MoSi2加熱元件 | |
| 熱電偶 | B 型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管 | 80 x 1000mm (OD x minimum L) | |
| 材質(zhì)：高純氧化鋁管 | ||
| 溫度控制 | 通過可控硅功率控制進(jìn)行PID自動(dòng)控制 | |
| 加熱曲線 | 30 步可編程 | |
| 真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 | |
| 電壓與功率 | 220V, 50 Hz, 單相 4KW | |
| 真空泵系統(tǒng) | 旋片真空泵+擴(kuò)散真空泵 | 真空泵組：極限真空10-6 Torr。 旋片真空泵和擴(kuò)散真空泵將設(shè)計(jì)成推車帶輪子。 |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 四個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì)： 底殼安裝1個(gè)氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝6個(gè)不銹鋼針閥，手動(dòng)控制6種氣體混合 | |
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