| 技術(shù)參數(shù) | |||||
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| 主要參數(shù) |
● 輸入電源：220V 通用 功率：< 1KW ● 工作電流： 濺射電流：0-50 mA可調(diào) ● 單次工作時間：0-5分鐘可調(diào) ● 靶頭數(shù)目：3個 ● 輸出電壓：1600V DC ● 樣品臺加熱溫度：500℃（選配）
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濺射腔體 |
● 采用石英腔體，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H ● 密封：采用O形密封圈密封
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樣品臺 |
● 一個外徑50 mm 的樣品臺,用于盛放基片，可以電動控制移動三個位置 ● 濺射距離：25 - 40毫米可調(diào) ● 可選購加熱型樣品臺（MAX溫度可到500℃） ● PID控制器控溫精度+/- 1℃（已集成到觸摸屏上）
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控制面板 |
● 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏 ● 一個控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度
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真空泵（選配） |
● 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr（僅供參考，詳情請點(diǎn)擊） ● 用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr（僅供參考，詳情請點(diǎn)擊）
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| 進(jìn)氣口 |
一個精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量
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靶材 |
● 要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm ● 可在本公司選購靶材,具體請點(diǎn)擊鏈接
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| 外形尺寸 |
● 460mm×330mm×540mm (L×W×H) ● 凈重:50KG（不包括泵）
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| 質(zhì)保期 |
一年保修，終身技術(shù)支持 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
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| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證
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| 各種靶材的參數(shù)（僅供參考） |
對于濺射各種金屬靶材，需要摸索THE BEST 的濺射參數(shù)，下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)（參考值， 詳情請點(diǎn)擊） | ||||
| 靶材種類 | 真空度（Pa） | 濺射電流（mA） | 時間（s） | 濺射次數(shù) | |
| Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | |
| Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | |
| 使用注意事項(xiàng) |
● 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī) 或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié) ● 有時為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜 ● 為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N） ● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈 ● 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請在濺射前清潔基材表面 ● 超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍铮?） 真空烘箱除去水分。 ● 等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物 ● 制造一個薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力
超聲波清洗機(jī) 等離子清洗機(jī) 大功率磁控濺射儀 蒸鍍儀 手套箱
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| 警告 |
● 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機(jī)體。 ● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。 ● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶材 | ||||
深圳市科晶智達(dá)科技有限公司2001年成立于深圳，是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術(shù)企業(yè)，長期致力于打造安全、高效、智能的實(shí)驗(yàn)研發(fā)一站式服務(wù)平臺，為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬M(fèi)TI-科晶聯(lián)盟，目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，精心為科學(xué)家們的實(shí)驗(yàn)室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品，產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進(jìn)行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實(shí)驗(yàn)設(shè)備的開發(fā)，經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者，產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列：按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎(chǔ)研究實(shí)驗(yàn)裝備（包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等）； ? 電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備（包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案）； ? 電池安全測試裝備（符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)等）； ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案，交鑰匙工程（包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案）； ? 燃料電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備（包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案）； ? 鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備； ? 功能薄膜研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備（包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等）； ? 高通量材料基因組實(shí)驗(yàn)設(shè)備（包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測試表征等）； 公司設(shè)立了開放的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和設(shè)備體驗(yàn)中心。對于鋰電池行業(yè)，可實(shí)現(xiàn)公斤級別材料制備及電池研發(fā)，能接受上門小批量材料驗(yàn)證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊支撐了豐富的產(chǎn)品鏈，針對現(xiàn)有產(chǎn)品具有*知識產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實(shí)用新型共40多項(xiàng)（包含PCT和國內(nèi)發(fā)明），并參與行業(yè)多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)制定且獲得多個行業(yè)協(xié)會認(rèn)可。 本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨，深圳科晶先后與清華大學(xué)、南開大學(xué)、上海交通大學(xué)、深圳大學(xué)、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機(jī)構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學(xué)研合作。與此同時，深圳科晶設(shè)立了對外服務(wù)的公共試驗(yàn)平臺，承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場測試體驗(yàn)，配備行業(yè)的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備，縮短調(diào)研考察與決策時間。該實(shí)驗(yàn)室平臺也可以承接相關(guān)工藝試驗(yàn)服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù)，協(xié)助細(xì)分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝，從而專注前沿研發(fā)。 材料科學(xué)是基礎(chǔ)科學(xué)?？v觀人類科技的發(fā)展歷史，新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇，而*的實(shí)驗(yàn)裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護(hù)航的重要保障?？凭F(tuán)隊將一如既往秉承“客戶為本，技術(shù)為導(dǎo)，誠信為基，積極創(chuàng)新”的運(yùn)營理念 ，竭力為科學(xué)研究和科技發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 產(chǎn)品信息
- Vertex.One/Vertex.C荷蘭Ivium全功
- 荷蘭IviumVertex系列電化學(xué)工作站
- 荷蘭Ivium-n-Stat多通道電化學(xué)工作
- Vertex.C.EIS電化學(xué)工作站
- Vertex.One.EIS電化學(xué)工作站
- GSL-1600X-VIGA300氣體霧化金屬粉
- UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)
- MSK-SFM-ALO顎式破碎機(jī)
- MSK-TE908電池定向跌落試驗(yàn)機(jī)
- MSK-TE938電池跌落試驗(yàn)機(jī)
- MSK-TE920電池翻滾跌落試驗(yàn)機(jī)
- TL-HT-2-LD桌面式紅外加熱提拉鍍膜
