英國 Cressington （US market: Ted Pella） 108Auto 全自動離子濺射鍍膜儀
108Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
· 自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和的導電噴鍍效果。
· 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。
· 操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
· 在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程?？赏ㄟ^數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，
· 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設(shè)定膜厚時停止噴鍍過程。
· 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動停止噴鍍過程。
· 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
· 可使用多種金屬靶材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標配），靶材更換快速方便。
| 技術(shù)參數(shù) | |
| 樣品室大小 | 直徑120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75") |
| 靶材 | Au 靶為標配，Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;大?。褐睆?7mmx 0.1mm厚 |
| 樣品臺 | 可以裝載12個SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為50mm |
| 濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，zui大電流40mA，程序化數(shù)字控制 |
| 濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩 |
| 模擬計量 | 真空：Atm - 0.001mbar |
| 厚度監(jiān)控 | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程，或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動終止濺射過程 |
| 控制方法 | 自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器（0－300s），自動放氣 |
| 桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
