低溫真空泵
低溫真空泵是利用10K(-263℃)低溫制冷機作為冷源,通過低溫冷凝、低溫吸附的原理獲得無油高真空的設備,
低溫真空泵廣泛應用于:
1)半導體、集成電路、光電器件的鍍膜工藝過程;
2)光學鏡片鍍膜;
3)磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線;
4)空間環(huán)境模擬;
5)真空排氣臺等。
低溫真空泵主要特點:
1)低溫真空泵是吸附式真空泵,工作時無需前級泵;
2)低溫真空泵需要再生;
3)低溫真空泵對不同氣體具有不同的抽速和抽氣容量。
低溫真空泵的主要優(yōu)點:
1)高極限真空度?;拘涂蛇_10-6Pa真空度,特殊要求時可達10-7Pa以上;
2)大抽速。對空氣尤其是對水蒸汽具有超高的抽速,其它真空泵不可比擬;
3)真正潔凈。
4)運行成本低
5)安全可靠
6)使用方便
7)使用壽命長