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反應(yīng)離子刻蝕機(jī)Etchlab 200

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  • 公司名稱福芯科技(香港)有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/10/1 13:17:24
  • 訪問次數(shù)274
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     福芯科技總部座落在”東方之珠”中國香港,在北京、上海、成都設(shè)有分公司,是一家專注半導(dǎo)體行業(yè)、光電領(lǐng)域銷售和服務(wù)的設(shè)備整合科技公司,公司擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、3D封裝、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、集成電路、分立器件、物理、化學(xué)、生物等領(lǐng)域。為向客戶提供*的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),福芯科技目前客戶遍及國內(nèi)集團(tuán)、科研院所和半導(dǎo)體、光電制造企業(yè),已成功地服務(wù)于半導(dǎo)體大型工業(yè)客戶、、中國航天、中國航空、、中國兵器集團(tuán)、各所、高校和制造企業(yè)等眾多合作伙伴福芯科技秉承“客戶至上、專業(yè)服務(wù),用心服務(wù)”的宗旨,為客戶提供快捷技術(shù)服務(wù)和品質(zhì)設(shè)備方案。
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反應(yīng)離子刻蝕機(jī)Etchlab 200
反應(yīng)離子刻蝕機(jī)Etchlab 200 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品概述

反應(yīng)離子刻蝕機(jī) Etchlab 200 是研發(fā)用干法刻蝕工藝的基本型和經(jīng)濟(jì)型設(shè)備,可逐步升級到完整的反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備 RIE、適用于所有工藝氣體和工藝要求。

Etchlab 200 具有模塊化設(shè)計(jì)、工藝穩(wěn)定性、使用簡便,直接放置晶圓。Etchlab 200 適用于廣泛的刻蝕工藝,例如刻蝕硅、氧化硅、金屬、三五族化合物和聚合物。

單晶片反應(yīng)腔室內(nèi)的經(jīng)過長期驗(yàn)證的模塊可滿足各種要求、包括繁重的刻蝕任務(wù)。按照的刻蝕任務(wù)和等離子體化學(xué)氣體要求,反應(yīng)腔室可配置不同的氣體系統(tǒng)。設(shè)備所有的重要參數(shù)均為自動(dòng)控制。

下電極可容納直徑 4 吋到 8 吋的晶圓。下電極水冷、或通過可選的循環(huán)冷卻器將溫度控制在 10°C 到80°C。下電極的 13.56 MHz 射頻功率源產(chǎn)生等離子體(RIE 模式)。不同的等離子阻抗自動(dòng)匹配到射頻發(fā)生器的 50 歐姆輸出。產(chǎn)生等離子體的同時(shí),加載到下電極上的 13.56 MHz 射頻功率同時(shí)產(chǎn)生一個(gè)直流自偏壓。直徑 100 mm 到 200 mm 的晶圓直接放置在下電極上。

真空系統(tǒng)包括渦輪分子泵和機(jī)械前級泵、符合 RIE 工藝所需的壓力-流量要求。自動(dòng)節(jié)流閥保持反應(yīng)腔體內(nèi)的壓力、獨(dú)立于氣體流量。質(zhì)量流量計(jì)(MFC)提供高穩(wěn)定的氣流。這樣就能達(dá)到精確和可重復(fù)的刻蝕條件。

系統(tǒng)具備*的硬件和軟件控制系統(tǒng),采用客戶機(jī)-服務(wù)器結(jié)構(gòu)。成熟、可靠的遠(yuǎn)程現(xiàn)場控制器(RFC)通過串行現(xiàn)場總線(Interbus)、實(shí)時(shí)控制所有部件?;镜陌踩ユi由該 RFC 實(shí)現(xiàn)。

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