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英國Emitech高真空離子濺射儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海百賀儀器科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號K575X/K575
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/10/5 12:07:37
  • 訪問次數(shù)232
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上海百賀儀器科技有限公司成立于上海。在中國銷售網(wǎng)絡(luò),以華東地區(qū)為中心,面向全國各地。是集售前支持和售后服務(wù)為一體的技術(shù)型企業(yè)。公司專業(yè)代理銷售*的材料測試儀器,產(chǎn)品來自歐、美、日等在行業(yè)內(nèi)的設(shè)備供應(yīng)商。公司擁有行業(yè)內(nèi)經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)人員與專業(yè)化服務(wù)團(tuán)隊(duì),可提供有效的設(shè)備技術(shù)支持,乃至實(shí)驗(yàn)室整體解決方案。

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英國Emitech高真空離子濺射儀K575X/K575D使用渦輪泵,前級為旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵,整個(gè)抽真空過程為自動(dòng)控制
英國Emitech高真空離子濺射儀 產(chǎn)品信息

英國Emitech高真空離子濺射儀K575X/K575D使用“渦輪”泵,前級為旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵,整個(gè)抽真空過程為自動(dòng)控制。真空度可調(diào)整,以適應(yīng)鉻或其它易氧化金屬,以及金靶等不同材料要求,定時(shí)器可設(shè)置成不同的濺射時(shí)間。

本系統(tǒng)裝配了磁控管靶,靶面直徑為54 mm,可快速更換靶材。

濺射頭用Peltier制冷,可得到高性能、精細(xì)顆粒的涂層(無需水冷卻)。

濺射時(shí)參數(shù)可預(yù)設(shè),包括氣體放氣電磁閥。

K575D(雙頭)其它與K575X相同,只是具有兩個(gè)濺射頭。在進(jìn)行特殊涂層的應(yīng)用時(shí),不需要打開真空即可進(jìn)行兩層沉積濺鍍。

注:K575D技術(shù)規(guī)格與K575X相同,但它有雙頭。K575X具有peltier制冷,對于比較厚的沉積,通常用K575D(雙頭)單元。

英國Emitech高真空離子濺射儀K575X/K575D的主要特點(diǎn)

1、全自動(dòng)控制

2、Peltier冷卻濺射頭

3、精細(xì)鍍層(0.5nm Cr粒子)

4、可傾斜的特殊旋轉(zhuǎn)臺(tái)作為標(biāo)準(zhǔn)配置

5、薄膜沉積(典型為5nm)

6、直徑為165mm腔室

7、可選雙濺射頭

8、可接膜厚測控儀

優(yōu)點(diǎn):

● 可濺射易氧化金屬精細(xì)顆粒,如:鉻(Cr)或銥(Ir)

● 應(yīng)用范圍廣,除了可選濺射常用金屬靶材如:金銀鉑鈀銅錫鋁鎂鐵鈷鎳鉻鈦鉬鎢銥鉭等單質(zhì)純金屬靶材之外,還可選配金鈀合金靶、鉑鈀合金靶、碳靶以及ITO(氧化銦錫)靶等特殊靶材

● 易操作

● 無需水冷卻

● 高分辨率,可復(fù)制涂層

● 適應(yīng)各種樣品

● 重復(fù)膜厚沉積

● 樣品容易裝載和卸載

● 不需要打開真空即可進(jìn)行順序涂層

● 沉積厚度可預(yù)設(shè)

英國Emitech高真空離子濺射儀K575X/K575D的技術(shù)參數(shù)

1、儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H

2、工作腔室:硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H

3、安全鐘罩:聚碳酸酯

4、基座:110 mm直徑 x 115mm高

5、重量:42公斤

6、靶:54 mm 直徑 x 0.2mm 厚(鉻作為標(biāo)準(zhǔn)靶材)

7、樣品臺(tái):50mm直徑,具有傾斜功能的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)

8、操作真空:1 x 10-2 mbar到 1 x 10-4 mbar

9、濺射電流:0-150mA

10、沉積速率:0-20nm/分

11、濺射定時(shí):0-4 分鐘

12、渦輪分子泵:60 litres/Second (極限真空 1x10-8 mbar)

13、真空泵:No 2. 泵complete with Vac. Hose & Oil Mist Filter 35L/Min 2m3/Hr

14、電源:230伏/50Hz(包括泵電流為6安培)

15700106413
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